EP 0053719 A1 19820616 - Process for etching metal surfaces.
Title (en)
Process for etching metal surfaces.
Title (de)
Verfahren zum Ätzen von Metalloberflächen.
Title (fr)
Procédé pour le décapage de surfaces métalliques.
Publication
Application
Priority
DE 3046477 A 19801210
Abstract (en)
1. Process for etching metal surfaces, in particular printed circuits, wherein the metal (such as copper) is corroded off the circuit by means of a solution containing sulfuric acid or phosphoric acid and hydrogen peroxide and this solution is passed through a cycle and used repeatedly for etching, characterized in that hydrogen peroxide is added to the solution immediately prior to each application or during application to the circuit to be etched in such an amount that it is just sufficient for each etching procedure and substantially no hydrogen peroxide remains in the solution after the etching procedure.
Abstract (de)
Um bei einem Verfahren zum Ätzen von Metalloberflächen, bei welchem man das Metall auf der Schaltung mittels einer Schwefelsäure oder Phosphorsäure und Wasserstoffperoxid enthaltenden Lösung abätzt und diese Lösung im Kreislauf führt und wiederholt zum Ätzen verwendet, die Probleme der katalytischen Zersetzung des Wasserstoffperoxids auch ohne Fremdzusätze zu lösen, wird vorgeschlagen, daß man der Lösung unmittelbar vor jedem Aufbringen oder beim Aufbringen auf die zu ätzende Schaltung nur so viel Wasserstoffperoxid zugibt, daß es gerade für einen Ätzvorgang ausreicht und nach dem Ätzvorgang im wesentlichen kein Wasserstoffperoxid in der Lösung enthalten ist.
IPC 1-7
IPC 8 full level
C23F 1/00 (2006.01); C23F 1/16 (2006.01); C23F 1/46 (2006.01)
CPC (source: EP)
Citation (search report)
- FR 2392100 A1 19781222 - ALFACHIMICI SPA [IT]
- US 3756957 A 19730904 - SHIGA S
- DE 1906304 A1 19700903 - WIEDERHOLD FA HERMANN
- GB 1176892 A 19700107 - FMC CORP [US]
- DE 2358683 A1 19750605 - SOOS KALMAN VON DIPL PHYS
Designated contracting state (EPC)
BE CH DE FR GB LU NL SE
DOCDB simple family (publication)
EP 0053719 A1 19820616; EP 0053719 B1 19870909; DE 3046477 A1 19820708; DE 3176426 D1 19871022
DOCDB simple family (application)
EP 81109230 A 19811029; DE 3046477 A 19801210; DE 3176426 T 19811029