Global Patent Index - EP 0067984 A1

EP 0067984 A1 19821229 - Method of etching chromium, and etchant compositions for carrying it out.

Title (en)

Method of etching chromium, and etchant compositions for carrying it out.

Title (de)

Verfahren zum Ätzen von Chrom und Ätzmittelmischungen zur Durchführung des Verfahrens.

Title (fr)

Procédé pour la gravure de chrome et compositions de gravure pour la mise en oeuvre de ce procédé.

Publication

EP 0067984 A1 19821229 (DE)

Application

EP 82104812 A 19820602

Priority

US 27672381 A 19810624

Abstract (en)

[origin: US4370197A] An aqueous acidic composition suitable for etching which contains an acid and a thiourea compound, and use thereof.

Abstract (de)

Es wird ein Verfahren zum Ätzen von Chrom angegeben, bei dem das Metall mit einer sauren, wässrigen Ätzmittelmischung in Berührung gebracht wird. Die Mischung enthält eine anorganische Säure, vorzugsweise Schwefelsäure, in einer Menge von 1,5 bis 20 Gew.% und eine Thioharnstoffverbindung in einer Menge von 1 bis 10 Gew.%. Die Ätzzeit liegt im Bereich von 10 Sekunden bis 10 Minuten. Das Ätzen erfolgt bei einer Temperatur im Bereich von 50 bis 90°C. Der pH-Wert der Ätzmittelmischung liegt im Bereich von 0 bis 2.

IPC 1-7

C23F 1/00; C09K 13/06

IPC 8 full level

C23F 1/26 (2006.01); H05K 3/06 (2006.01)

CPC (source: EP US)

C23F 1/26 (2013.01 - EP US)

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

DE FR GB IT

DOCDB simple family (publication)

EP 0067984 A1 19821229; EP 0067984 B1 19850925; CA 1163540 A 19840313; DE 3266507 D1 19851031; JP S583984 A 19830110; JP S6059303 B2 19851224; US 4370197 A 19830125

DOCDB simple family (application)

EP 82104812 A 19820602; CA 399068 A 19820323; DE 3266507 T 19820602; JP 5394282 A 19820402; US 27672381 A 19810624