EP 0137819 A1 19850424 - ARTICULATED ARM TRANSFER DEVICE.
Title (en)
ARTICULATED ARM TRANSFER DEVICE.
Title (de)
FÖRDERUNGSVORRICHTUNG MIT SCHWENKBAREM ARM.
Title (fr)
DISPOSITIF DE TRANSFERT A BRAS ARTICULE.
Publication
Application
Priority
US 46609183 A 19830214
Abstract (en)
[origin: WO8403196A1] In a material transfer device, an articulated arm assembly extends and retracts in a "froglike" motion to transfer an object between a plurality of locations. The articulated arm assembly is rotatable about a pivot point in a radial plane and can be raised or lowered in an axial direction.
Abstract (fr)
Dans un dispositif de transfert de matériau, un assemblage de bras articulés s'étend et se retire avec un mouvement rappelant celui des pattes d'une grenouille pour transférer un objet entre une pluralité d'emplacements. L'assemblage de bras articulés peut tourner autour d'un point de pivotement dans un plan radial et peut être levé ou abaissé dans une direction axiale.
IPC 1-7
IPC 8 full level
H01L 21/67 (2006.01); H01L 21/677 (2006.01)
CPC (source: EP US)
H01L 21/67766 (2013.01 - EP US); Y10S 414/135 (2013.01 - EP US); Y10S 414/137 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB NL
DOCDB simple family (publication)
WO 8403196 A1 19840816; CA 1231357 A 19880112; DE 3465405 D1 19870917; EP 0137819 A1 19850424; EP 0137819 B1 19870812; JP S60183736 A 19850919; US 4730976 A 19880315
DOCDB simple family (application)
US 8400185 W 19840213; CA 447339 A 19840214; DE 3465405 T 19840213; EP 84901045 A 19840213; JP 22564684 A 19841026; US 69589985 A 19850129