EP 0143079 A2 19850529 -
Publication
Application
Priority
CH 619983 A 19831118
Abstract (en)
[origin: US4584056A] A method for manufacturing a device with micro-shutters, e.g., a light modulating device, includes the following steps: producing a first grid presenting cells; providing a plane support by depositing a layer of organic material on the grid filling the cells; producing a second grid on the layer of organic material; depositing a fine metallic layer on the second grid; cutting shutters and shutter attachments in the fine metallic layer; and removing the organic material layer in the cells to free the shutters.
Abstract (fr)
Le procédé de l'invention comporte les étapes suivantes. - réalisation d'une première grille (4) présentant des alvéoles (2); - obtention d'un support plan par dépôt d'une couche de matière organique (5); - réalisation d'une deuxième grille (20) sur la couche (5); - dépôt d'une fine couche métallique (26) et gravure dans cette couche des volets (23); et - élimination de la couche (5) dans les alvéoles (2), en vue de libérer les volets (23).
IPC 1-7
IPC 8 full level
CPC (source: EP US)
G09F 9/372 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT NL
DOCDB simple family (publication)
EP 0143079 A2 19850529; EP 0143079 A3 19860730; CA 1256683 A 19890704; CH 654686 A5 19860228; JP S60120389 A 19850627; US 4584056 A 19860422
DOCDB simple family (application)
EP 84810556 A 19841115; CA 467912 A 19841115; CH 619983 A 19831118; JP 23961784 A 19841115; US 67092984 A 19841113