EP 0144522 A2 19850619 - Getter sorption pump having a heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants.
Title (en)
Getter sorption pump having a heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants.
Title (de)
Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen.
Title (fr)
Pompe getter à sorption ayant un accumulateur de chaleur pour installations à vide élevé et à décharge au gaz.
Publication
Application
Priority
DE 3332606 A 19830909
Abstract (en)
[origin: US4571158A] A getter sorption pump has at least one getter member of non-evaporation getter material and a corresponding heating element. With this getter pump, a high pump rate is achieved by means of an extremely large surface in the smallest possible space. For this purpose, the heating element is disposed in an insulating tube and a plurality of individual getter members are attached to the insulator tube at a spacing from one another. The getter pump is employed in high-vacuum and gas discharge systems.
Abstract (de)
Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (3) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (1). Bei dieser Getterpumpe soll eine hohe Pumpgeschwindigkeit durch eine extrem große Oberfläche auf kleinstem Raum erreicht werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) in einem Isolierrohr (2) angeordnet ist, und daß eine Vielzahl von Einzel-Getterkörpern (3) voneinander beabstandet auf dem Isolierrohr (2) angebracht ist. Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung.
IPC 1-7
IPC 8 full level
F04B 37/02 (2006.01); H01J 7/18 (2006.01)
CPC (source: EP US)
F04B 37/02 (2013.01 - EP US); H01J 7/18 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
CH DE FR IT LI
DOCDB simple family (publication)
DE 3332606 A1 19850328; EP 0144522 A2 19850619; EP 0144522 A3 19861015; US 4571158 A 19860218
DOCDB simple family (application)
DE 3332606 A 19830909; EP 84109511 A 19840809; US 64435384 A 19840827