EP 0208259 A2 19870114 - Packaging for materials sensitive to humidity.
Title (en)
Packaging for materials sensitive to humidity.
Title (de)
Verpackung für Trockenresistmaterial.
Title (fr)
Emballage Pour matériaux sensibles à l'humidité.
Publication
Application
Priority
DE 3524846 A 19850712
Abstract (en)
[origin: ES297122U] A package for photoresist material, particularly a dry resist, is substantially impermeable to water vapor, thereby preventing humidity-related effects which adversely influence the processability of the photoresist. The package can comprise a film tubing, the ends of which are closed by welding or gluing, into which a photoresist roll is placed. As the material for the film tubing, a composite material can be used which is formed of a polyester film as the support film, to which an aluminum foil is laminated or which is vacuum-metallized with aluminum and a polyethylene film laminated on top. A tinplate container can also be used as a package, the container being closed by soldering after placing the photoresist material inside the container. These packages generally have a permeability to water vapor of less than 0.01 gram of water vapor per square meter per day, at a humidity gradient of 97% and an ambient temperature of 23 DEG C.
Abstract (de)
Eine Verpackung für Fotoresistmaterial (2), beispielsweise einen Trockenresist, besteht aus einem Folienschlauch (1), dessen Enden nach dem Einbringen einer Fotoresistrolle zugeschweißt oder verklebt werden. Als Material für den Folienschlauch wird ein Verbund aus einer Polyester-Folie als Trägerfolie, auf der eine Aluminiumfolie aufkaschiert oder Aluminium aufgedampft ist, und einer auf-kaschierten Polyethylen-Folie verwendet. Desweiteren wird als Verpackung ein Weißblechkanister verwendet, der nach dem Einbringen des Fotoresistmaterials zugelötet wird. Bei jeder der beiden Verpackungen ist die Wasserdampfdurchlässigkeit kleiner als 0,01 g Wasserdampf pro Quadratmeter und Tag, bei einem Feuchtegefälle von 97 % und einer Umgebungstemperatur von 23 °C.
IPC 1-7
IPC 8 full level
B65D 65/02 (2006.01); B32B 15/085 (2006.01); B65D 65/40 (2006.01); B65D 81/26 (2006.01); B65D 85/00 (2006.01)
CPC (source: EP KR US)
B65D 65/40 (2013.01 - KR); B65D 81/26 (2013.01 - EP US); B65D 81/268 (2013.01 - EP US); Y10T 428/1338 (2015.01 - EP US); Y10T 428/1359 (2015.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
AT DE FR GB IT NL
DOCDB simple family (publication)
EP 0208259 A2 19870114; EP 0208259 A3 19880824; EP 0208259 B1 19900912; AT E56414 T1 19900915; AU 590293 B2 19891102; AU 5973486 A 19870115; BR 8603257 A 19870224; DE 3524846 A1 19870115; DE 3674092 D1 19901018; ES 297122 U 19881116; ES 297122 Y 19890616; HK 14993 A 19930305; IL 79108 A0 19860930; JP S6216377 A 19870124; KR 870001493 A 19870314; SG 77292 G 19921224; US 4852732 A 19890801; ZA 865073 B 19870225
DOCDB simple family (application)
EP 86109050 A 19860703; AT 86109050 T 19860703; AU 5973486 A 19860703; BR 8603257 A 19860711; DE 3524846 A 19850712; DE 3674092 T 19860703; ES 297122 U 19880525; HK 14993 A 19930225; IL 7910886 A 19860612; JP 15990786 A 19860709; KR 860005606 A 19860711; SG 77292 A 19920729; US 88179486 A 19860703; ZA 865073 A 19860708