EP 0222777 A1 19870527 - UNIT INTENDED TO RESTORE THE INITIAL CLEANNESS CONDITIONS IN A QUARTZ TUBE USED AS REACTION CHAMBER FOR FABRICATING INTEGRATED CIRCUITS.
Title (en)
UNIT INTENDED TO RESTORE THE INITIAL CLEANNESS CONDITIONS IN A QUARTZ TUBE USED AS REACTION CHAMBER FOR FABRICATING INTEGRATED CIRCUITS.
Title (de)
VORRICHTUNG ZUM SAUBERMACHEN VON QUARZROHREN, DIE ALS REAKTIONSKAMMERN BEI DER HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN VERWENDET WERDEN.
Title (fr)
ENSEMBLE DESTINE A REDONNER LES CONDITIONS INITIALES DE PROPRETE DANS UN TUBE DE QUARTZ UTILISE COMME CHAMBRE DE REACTION POUR LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES.
Publication
Application
Priority
FR 8503433 A 19850308
Abstract (en)
[origin: WO8605129A1] The unit comprises a vertical panel (1) separating the workshop into a medium cleanness area (2) and a maximum cleanness area (3), an elongated container (4) in the area (2) and a housing (6) inserted in an opening (5) of the panel (1); the tubes are cleaned and pre-rinsed in the container (4), and than rinsed and dried in the housing (6) which is also used as lock-chamber for transferring the tubes between the areas (2) and (3). Application to the making of integrated circuits.
Abstract (fr)
Cet ensemble comporte un panneau vertical (1) séparant l'atelier en une zone de propreté moyenne (2) et une zone de propreté maximum (3), une cuve allongée (4) dans la zone (2) et une enceinte (6) insérée dans une ouverture (5) du panneau (1); les tubes sont nettoyés et pré-rincés dans la cuve (4), puis rincés et séchés dans l'enceinte (6), qui sert également de sas pour le transfert de tubes entre les zones (2) et (3). Application à la réalisation de circuits intégrés .
IPC 1-7
IPC 8 full level
B08B 3/10 (2006.01); B08B 15/00 (2006.01); C03B 20/00 (2006.01); F24F 3/16 (2006.01); F24F 7/06 (2006.01); H01L 21/22 (2006.01); H01L 21/304 (2006.01)
CPC (source: EP US)
B08B 15/00 (2013.01 - EP US); F24F 3/163 (2021.01 - EP US)
Citation (search report)
See references of WO 8605129A1
Designated contracting state (EPC)
DE GB IT NL
DOCDB simple family (publication)
WO 8605129 A1 19860912; DE 3664264 D1 19890817; EP 0222777 A1 19870527; EP 0222777 B1 19890712; FR 2578455 A1 19860912; FR 2578455 B1 19870507; JP S62502107 A 19870820; US 4756322 A 19880712
DOCDB simple family (application)
FR 8600069 W 19860304; DE 3664264 T 19860304; EP 86901424 A 19860304; FR 8503433 A 19850308; JP 50145286 A 19860304; US 93026786 A 19861030