EP 0270589 A1 19880615 - APPARATUS AND METHOD FOR THE CHEMICAL ANALYSIS OF SOLIDS BY SPECTROSCOPY OF X PHOTOELECTRONS.
Title (en)
APPARATUS AND METHOD FOR THE CHEMICAL ANALYSIS OF SOLIDS BY SPECTROSCOPY OF X PHOTOELECTRONS.
Title (de)
GERÄT UND VERFAHREN ZUR CHEMISCHEN ANALYSE VON FESTKÖRPERN MITTELS DURCH RÖNTGENSTRAHLEN ANGEREGTER PHOTOELEKTRONEN.
Title (fr)
APPAREIL ET PROCEDE D'ANALYSE CHIMIQUE DE SOLIDES PAR SPECTROSCOPIE DE PHOTO-ELECTRONS X.
Publication
Application
Priority
FR 8607740 A 19860529
Abstract (en)
[origin: WO8707429A1] The apparatus for carrying out local chemical analysis at the surface of solid materials by spectroscopy of X photoelectrons comprises an ultrahigh vacuum analysis chamber (1) wherein is housed the sample to be analyzed (2) which is connected to a manipulator (3) arranged outside said chamber (1), an analyzer (4) situated in the vicinity of the sample and an electron source (5) emitting an electronic beam (10). The apparatus of the present invention is characterized in that it comprises between the electronic beam (10) and the sample (2) which is a solid massive material a microsource of X photons (6) arranged as close as possible to said massive sample (2).
Abstract (fr)
L'appareil d'analyses chimiques locales à la surface de matériaux solides par spectroscopie de photo-électrons X comprenant une chambre d'analyse ultravide (1) dans laquelle est logé l'échantillon à analyser (2) qui est relié à un manipulateur (3) disposé à l'extérieur de ladite chambre (1), un analyseur (4) situé à proximité de l'échantillon et une source d'électrons (5) émettant un faisceau électronique (10) est caractérisé en ce qu'il comporte entre le faisceau électronique (10) et l'échantillon (2) qui est un matériau solide massif, une microsource de photons X (6) disposée le plus près possible dudit échantillon massif (2).
IPC 1-7
IPC 8 full level
G01N 23/227 (2006.01); H01J 35/00 (2006.01); H01J 37/252 (2006.01); H01J 37/256 (2006.01); H01J 49/26 (2006.01)
IPC 8 main group level
G01Q 30/00 (2010.01)
CPC (source: EP US)
G01N 23/2273 (2013.01 - EP US); H01J 35/00 (2013.01 - EP US); H01J 37/256 (2013.01 - EP US)
Citation (search report)
See references of WO 8707429A1
Designated contracting state (EPC)
AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE
DOCDB simple family (publication)
WO 8707429 A1 19871203; EP 0270589 A1 19880615; FR 2600422 A1 19871224; FR 2600422 B1 19891013; JP H01500547 A 19890223; US 4857730 A 19890815
DOCDB simple family (application)
FR 8700187 W 19870527; EP 87903348 A 19870527; FR 8607740 A 19860529; JP 50337287 A 19870527; US 15694088 A 19880127