EP 0276395 A2 19880803 - Photoelectric measuring apparatus.
Title (en)
Photoelectric measuring apparatus.
Title (de)
Lichtelektrische Messeinrichtung.
Title (fr)
Dispositif de mesure photo-électrique.
Publication
Application
Priority
DE 3702314 A 19870127
Abstract (en)
In a photoelectric measuring apparatus as shown, for example, in Figure 3, relative movements between a diffraction grating (G') and a substrate (S') are measured. The radiation emitted by a semiconductor laser (L') integrated on the substrate (S') is directed via a waveguide lens (WL') and an output grating (AG') to the diffraction grating (G') where it is diffracted and returned to the substrate (S'). The diffracted part-beams (+m', -m') are fed by input elements (+H', -H'), which have input gratings (+HG', -HG'), by means of optical waveguides (+LWL', -LWL') into a coupler (TBJ') where they are brought to interference. From the coupler (TBJ'), they are conducted via optical waveguides, not designated in detail, to detectors (+D', D', -D') which convert them into electrical signals which are phase shifted with respect to one another. The electrical signals can be processed in an evaluating circuit not shown - which is also integrated - and can be displayed. <??>All elements from semiconductor laser (L') to the detectors (+D', D', -D') are combined in the form of an integrated optical circuit on the substrate (S'). <IMAGE>
Abstract (de)
Bei einer lichtelektrischen Meßeinrichtung wie sie beispielsweise in Figur 3 dargestellt ist, werden Relativbewegungen zwischen einem Beugungsgitter (G') und einem Substrat (S') gemessen. Die von einem auf dem Substrat (S') integriertem Halbleiterlaser (L') ausgesendete Strahlung wird über eine Wellenleiterlinse (WL') und ein Auskoppelgitter (AG') auf das Beugungsgitter (G') gelenkt, dort gebeugt und auf das Substrat (S') zurückgeworfen. Die gebeugten Teilstrahlenbündel (+m', -m') werden von Einkoppelelementen (+H', -H'), die Einkoppelgitter (+HG', -HG') aufweisen, mittels Lichtwellenleitern (+LWL', -LWL') in einen Koppler (TBJ') eingespeist und dort zur Interferenz gebracht. Vom Koppler (TBJ') werden sie weiter über nicht näher bezeichnete Lichtwellenleiter zu Detektoren (+D', D', -D') geleitet, die sie in zueinander phasenverschobene elektrische Signale umwandeln. Die elektrischen Signale können in einer nicht dargestellten - ebenfalls integrierten - Auswerteschaltung verarbeitet und zur Anzeige gebracht werden. Sämtliche Elemente vom Halbleiterlaser (L') bis zu den Detektoren (+D', D', -D') sind auf dem Substrat (S') in Form einer integrierten optischen Schaltung zusammengefaßt.
IPC 1-7
IPC 8 full level
G01B 11/00 (2006.01); G01D 5/38 (2006.01)
CPC (source: EP US)
G01D 5/38 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
AT CH DE ES FR GB IT LI NL SE
DOCDB simple family (publication)
US 4955718 A 19900911; AT E67305 T1 19910915; DE 3702314 C1 19880114; DE 3772962 D1 19911017; EP 0276395 A2 19880803; EP 0276395 A3 19891011; EP 0276395 B1 19910911; ES 2025615 T3 19920401; JP H0465325 B2 19921019; JP S63188719 A 19880804
DOCDB simple family (application)
US 14855688 A 19880126; AT 87116935 T 19871117; DE 3702314 A 19870127; DE 3772962 T 19871117; EP 87116935 A 19871117; ES 87116935 T 19871117; JP 31761587 A 19871217