EP 0283477 A1 19880928 - METHOD OF TRANSPORTING PRODUCTS IN A MANUFACTURING PROCESS.
Title (en)
METHOD OF TRANSPORTING PRODUCTS IN A MANUFACTURING PROCESS.
Title (de)
FÖRDERVERFAHREN VON ERZEUGNISSEN BEI DEREN HERSTELLUNG.
Title (fr)
PROCEDE POUR TRANSPORTER DES PRODUITS DANS UN PROCESSUS DE FABRICATION.
Publication
Application
Priority
SE 8600228 A 19860120
Abstract (en)
[origin: WO8704414A1] Method for transporting disc-shaped, circular or essentially circular products from a manufacturing process to and through another process comprising at least one process stage which is executed in to all intents and purposes dust-free conditions under vacuum. The invention is characterized in that the products (37) from the first-mentioned process are placed in a magazine (2; 3; 4) with a to all intents and purposes dust-free atmosphere. Once a pre-determined number of products (37) has been received, the magazine (2; 3; 4) is sealed, evacuated and transported to vacuum process equipment (1) in which the aforementioned process stage is executed. The magazine (2) is connected to the latter and is opened under vacuum, whereupon the products (37) are removed from the magazine (2), one by one, and are conveyed inside the equipment (1) via a process zone (16) into a second, originally empty magazine (3) connected to the equipment. Once the pre-determined number of products (37) has been received, the second magazine is closed, with the vacuum maintained, and is disconnected from the vacuum process equipment (1).
Abstract (fr)
Procédé pour transporter des produits discoïdes, circulaires ou sensiblement circulaires en sortie d'un processus de fabrication vers et tout au long d'un autre processus comportant au moins une étape qui est exécutée dans un environnement virtuellement sans poussières sous vide. La présente invention est caractérisée en ce que les produits (37) en sortie du premier processus précité sont placés dans un magasin (2; 3; 4) possédant une atmosphère virtuellement sans poussière. Après réception d'un nombre prédéterminé de produits (37), on ferme hermétiquement le magasin (2; 3; 4), on y fait le vide et on le transporte vers des équipements de traitement sous vide (1) dans lesquels l'étape de processus précitée est exécutée. Le magasin (2) est relié auxdits équipements et est ouvert sous vide après quoi les produits (37) sont extraits du magasin (2), un par un, et sont transportés à l'intérieur des équipements (1) via une zone de traitement (16) jusqu'à un second magasin (3) initialement vide et relié aux équipements. Après réception du nombre prédéterminé de produits (37), on ferme le second magasin tout en maintenant le vide, puis on déconnecte ledit magasin des équipements de traitement sous vide (1).
IPC 1-7
IPC 8 full level
B65G 49/00 (2006.01); B65G 49/07 (2006.01); C23C 14/56 (2006.01); H01L 21/677 (2006.01)
CPC (source: EP)
C23C 14/56 (2013.01); H01L 21/67778 (2013.01)
Citation (search report)
See references of WO 8704414A1
Designated contracting state (EPC)
AT BE CH DE FR GB IT LI NL
DOCDB simple family (publication)
WO 8704414 A1 19870730; EP 0283477 A1 19880928; JP S63502176 A 19880825; SE 456570 B 19881017; SE 8600228 D0 19860120; SE 8600228 L 19870721
DOCDB simple family (application)
SE 8700022 W 19870120; EP 87900912 A 19870120; JP 50078487 A 19870120; SE 8600228 A 19860120