EP 0288533 A1 19881102 - IMAGE REVERSAL SYSTEM AND PROCESS.
Title (en)
IMAGE REVERSAL SYSTEM AND PROCESS.
Title (de)
BILDUMKEHRSYSTEM UND -VERFAHREN.
Title (fr)
PROCEDE ET SYSTEME D'INVERSION D'IMAGE.
Publication
Application
Priority
- US 6773287 A 19870626
- US 92105686 A 19861020
Abstract (en)
[origin: WO8802878A1] A light-sensitive composition and method which can be used to produce photoresist images. The composition comprises a mixture of a novolak resin, a 1,2-quinonediazide sensitizer and sufficient quantities of one or more organic stabilizing compounds to render the total composition soluble in alkaline developer. In producing a negative image the composition is exposed imagewise to actinic radiation, thereafter heated to render the exposed image insoluble to alkaline developer, and the unexposed composition is then removed using alkaline developer without the necessity to subject the unexposed composition to exposure to actinic radiation prior to the development stage.
Abstract (fr)
Procédé et composition sensible à la lumière pouvant être utilisés pour produire des images photorésistantes. La composition consiste en un mélange d'une résine de novolaque, un sensibilisateur de 1,2-quinonediazide et des quantités suffisantes d'un ou de plusieurs composés de stabilisation organique pour rendre la composition totale soluble dans un révélateur alcalin. En produisant une image négative, la composition est exposée à la façon d'une image à un rayonnement actinique, puis elle est chauffée pour rendre la composition exposée insoluble au révélateur alcalin, et la composition non exposée est ensuite enlevée en utilisant le révélateur alcalin sans avoir besoin de soumettre la composition non exposée à une exposition du rayonnement actinique avant le stade de développement.
IPC 1-7
IPC 8 full level
G03F 7/38 (2006.01); G03C 1/72 (2006.01); G03F 7/004 (2006.01); G03F 7/022 (2006.01)
CPC (source: EP)
G03F 7/0226 (2013.01)
Designated contracting state (EPC)
AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE
DOCDB simple family (publication)
WO 8802878 A1 19880421; AU 8173487 A 19880506; EP 0288533 A1 19881102; EP 0288533 A4 19890206; JP H01501176 A 19890420
DOCDB simple family (application)
US 8702743 W 19871016; AU 8173487 A 19871016; EP 87907391 A 19871016; JP 50691987 A 19871016