EP 0293497 A1 19881207 - Arrangement of probes with a device for accurate positioning.
Title (en)
Arrangement of probes with a device for accurate positioning.
Title (de)
Kontaktsonden-Anordnung mit Feinpositionier-Vorrichtung.
Title (fr)
Arrangement de sondes avec leur dispositif de positionnement.
Publication
Application
Priority
EP 87107669 A 19870526
Abstract (en)
The precision positioning drive is used to move the test contact device in two orthogonal directions, with a respective electric motor (2,3) controlling the movement in each of these directions, via a pair of coaxial hollow drive shafts (10,11), each coupled to a respective coordinate carriage (13,14) supporting the test contact device (1). In the case that a number of test contact devices are closely packed together within a test head, the longitudinal axis of each respective positioning drive extends perpendicular to the plane defined by the two coordinate positioning axes. The effected displacement along each coordinate axis may be detected via a coder attached to each electric motor shaft.
Abstract (de)
Es wird eine Kontaktsonden-Anordnung (1) mit einer motorgetriebenen Feinpositionier-Vorrichtung beschrieben. Die Feinpositionier-Vorrichtung gestattet eine Bewegung der Kontaktsonden-Anordnung (1) in zwei zueinander senkrechten Richtungen, die als X- und Y-Richtung bezeichnet werden. Um mehrere mit Feinpositionier-Vorrichtungen versehene Kontaktsonden-Anordnungen (1) dicht benachbart anordnen zu können, erstreckt sich die Längsachse jeder Feinpositionier-Vorrichtung senkrecht zu der durch die X- und Y-Richtung bestimmten Ebene. Für jede Bewegungsrichtung ist ein Elektromotor (2, 3; 20, 21) vorgesehen. Bei einem ersten Ausführungsbeispiel erfolgt das Feinpositionieren in jeder Richtung über eine senkrecht angeordnete Hohlwelle (10, 11), die an ihrem unteren Ende exzentrisch ausgebildet ist und einen Mitnehmerschlitten (13, 14) hin- und herbewegt, der mit der Kontaktsonden-Anordnung (1) fest verbunden ist. Die Hohlwelle (11) für die Bewegung der Kontaktsonden-Anordnung (1) in Y-Richtung verläuft innerhalb der Hohlwelle (10) für die Bewegung in X-Richtung. Über Sensoren (16) wird die zurückgelegte Wegstrecke ermittelt. Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel erfolgt das Feinpositionieren der Kontaktsonden-Anordnung über Keile (30, 31, 33) von denen jeweils 2 (30, 33) über eine Wippe (32) miteinander verbunden sind und auf gegenüberliegenden Flächen eines vierseitigen Pyramidenstumpfes (34) aufliegen, der mit der Kontaktsonden-Anordnung (1) fest verbunden ist. Auf- und Abbewegen der Keile bewirkt das Feinpositionieren in der X- bzw. der Y-Richtung.
IPC 1-7
IPC 8 full level
G01R 31/28 (2006.01); G01R 1/073 (2006.01); G01R 31/00 (2006.01)
CPC (source: EP US)
G01R 1/07314 (2013.01 - EP US); G01R 1/07392 (2013.01 - EP US)
Citation (search report)
- [X] US 3787768 A 19740122 - KUBOTA T, et al
- [A] DE 2724479 A1 19771215 - IBM
- [AD] EP 0165331 A1 19851227 - IBM DEUTSCHLAND [DE], et al
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT
DOCDB simple family (publication)
EP 0293497 A1 19881207; EP 0293497 B1 19930310; DE 3784710 D1 19930415; JP H0650337 B2 19940629; JP S63307370 A 19881215; US 4908571 A 19900313
DOCDB simple family (application)
EP 87107669 A 19870526; DE 3784710 T 19870526; JP 9047988 A 19880414; US 18355288 A 19880419