EP 0310590 A2 19890405 - Ion treatment of the inner surfaces of objects connected as cathodes.
Title (en)
Ion treatment of the inner surfaces of objects connected as cathodes.
Title (de)
Behandlung mit Ionen von als Kathode geschalteten Innenflächen von Gegenständen.
Title (fr)
Traitement par des ions de surfaces intérieures d'objets servant de cathode.
Publication
Application
Priority
AT 219287 A 19870901
Abstract (en)
The invention relates to a device for treating, especially cleaning, inner surfaces of objects connected as cathode by ion bombardment from a gas discharge which has been ignited and maintained between an anode and the cathode. According to the invention, at least one essentially rod-shaped anode is provided which is surrounded at least partially by the inner surfaces which are to be treated, especially to be cleaned, and the essentially rod-shaped anode is provided with at least one wing (10, 16) preferably being at the anode potential for enlarging the catchment area for the particles and/or impurities sputtered off and for separating or subdividing the inner surfaces to be treated. <IMAGE>
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung inbesondere Reinigung von als Kathode geschalteten Innenflächen von Gegenständen durch Ionenbeschuß aus einer Gasentladung, die zwischen einer Anode und der Kathode gezündet und aufrechterhalten ist. Es ist vorgesehen, daß mindestens eine im wesentlichen stabförmige Anode (5) vorgesehen ist, die zumindest teilweise von den zu behandelnden, insbesondere zu reinigenden Innenflächen (19) umschlossen ist und daß zu Vergrößerung der Auffangfläche für die abgesputterten Teilchen bzw. Verunreinigungen und zur Trennung bzw. Unterteilung der zu behandelnden Innenflächen die im wesentlichen stabförmige Anode mit zumindest einem, vorzugsweise Anodenpotential besitzenden Flügel (10;16) versehen ist.
IPC 1-7
IPC 8 full level
B08B 7/00 (2006.01); C23C 14/02 (2006.01); C23G 5/00 (2006.01); H01J 37/32 (2006.01)
CPC (source: EP)
B08B 7/0035 (2013.01); C23C 14/022 (2013.01); C23G 5/00 (2013.01); H01J 37/32431 (2013.01)
Designated contracting state (EPC)
CH DE FR GB IT LI NL
DOCDB simple family (publication)
EP 0310590 A2 19890405; EP 0310590 A3 19900207; EP 0310590 B1 19930217; AT 387989 B 19890410; AT A219287 A 19880915; DE 3878521 D1 19930325
DOCDB simple family (application)
EP 88890191 A 19880720; AT 219287 A 19870901; DE 3878521 T 19880720