Title (en)

Device for electrolytic metal deposition and operation method thereof.

Title (de)

Vorrichtung zur elektrolytischen Metallabscheidung und Verfahren zu deren Anwendung.

Title (fr)

Dispositif pour le dépÔt électrolytique d'un métal et son procédé d'utilisation.

Publication

EP 0320482 A1 19890614 (FR)

Application

EP 88870180 A 19881206

Priority

BE 8701421 A 19871211

Abstract (en)

The device comprises a wall consisting of a plurality of electrically conductive members (15) separated by electrically insulating members (16). A proportion of the slots (5) for feeding electrolyte are situated in the electrically conductive members, while a proportion of the slots (6) for removing the electrolyte are situated in the electrically insulating members. At least a proportion of the electrically conductive members are connected to a terminal of a source of direct current (14), the other terminal of the source of direct current being connected to the substrate (2). The height of the electrolysis gap (11) may vary periodically. <IMAGE>

Abstract (fr)

Le dispositif comprend une paroi constituée d'une pluralité d'éléments électriquement conducteurs (15) séparés par des éléments électriquement isolants (16). Une partie des fentes (5) d'alimentation en électrolyte sont situées dans les éléments électriquement conducteurs. tandis qu'une partie des fentes (6) d'évacuation de l'électrolyte sont situées dans les éléments électriquement isolants. Au moins une partie des éléments électcriquement conducteurs sont raccordés à une borne d'une source de courant continu (14) l'autre borne de la source de courant continu étant raccordée au substrat (2). La hauteur de l'intervalle d'électrolyse (11) peut varier de manière périodique.

IPC 1-7

C25D 5/08

IPC 8 full level

C25D 5/08 (2006.01)

CPC (source: EP US)

C25D 5/08 (2013.01 - EP US); C25D 5/611 (2020.08 - EP US); C25D 5/623 (2020.08 - EP US)

Citation (search report)

• [A] FR 2350142 A1 19771202 - HOECHST AG [DE]
• [A] BE 905588 A 19870409 - CENTRE RECH METALLURGIQUE

Designated contracting state (EPC)

AT BE DE FR GB IT LU NL

DOCDB simple family (publication)

EP 0320482 A1 19890614; EP 0320482 B1 19920819; AT E79655 T1 19920915; BE 1001295 A6 19890919; DE 3873892 D1 19920924

DOCDB simple family (application)

EP 88870180 A 19881206; AT 88870180 T 19881206; BE 8701421 A 19871211; DE 3873892 T 19881206