EP 0371110 A1 19900606 - COMPLIANT MOTION SERVO.
Title (en)
COMPLIANT MOTION SERVO.
Title (de)
GESTEUERTER BEWEGUNGSSERVOMECHANISMUS.
Title (fr)
SERVOMECANISME A MOUVEMENT SOUPLE.
Publication
Application
Priority
US 19345088 A 19880512
Abstract (en)
[origin: US4817848A] An automatic ultrasonic wire bonder employs a compliant motion servo (17, 119, 239, 200) on its Z axis drive to maintain a known, constant and steady force applied by the bonding tool (13) to the wire. The tool is resiliently mounted to a carriage (15) that is driven by a force control servo (17, 119, 238, 200). During bonding, the tool is pressed against the wire, and effects of variations in tool tip Z axis position caused by vibration, wire deformation during bonding and other factors of the equipment are minimized by a servo that precisely controls and maintains a fixed position of the carriage relative to the wire to thereby maintain a preselected force between the bonding tool tip and the wire.
Abstract (fr)
Une machine ultrasonique automatique à connecter les fils emploie un servomécanisme à mouvement souple (17, 119, 238, 20) dans son entraînement sur l'axe des Z afin de maintenir une force connue, constante et régulière appliquée par l'outil de connexion (13) au fil. L'outil est monté de manière souple sur un chariot (15) entraîné par un servomécanisme (17, 119, 238, 200) de commande de force. Pendant la connexion, l'outil est pressé contre le fil, et produit des variations de la position, sur l'axe des Z, du bout de l'outil, provoquées par les vibrations, la déformation des fils pendant la connexion ainsi que d'autres facteurs de l'équipement sont réduits au minimum par un servomécanisme commandant et maintenant avec précision une position fixe du chariot par rapport au fil afin de maintenir ainsi une force présélectionnée entre le bout de l'outil de connexion et le fil.
IPC 1-7
IPC 8 full level
B23K 20/10 (2006.01); G05B 19/23 (2006.01); G05D 3/12 (2006.01); H01L 21/60 (2006.01); H01L 21/607 (2006.01)
CPC (source: EP US)
B23K 20/106 (2013.01 - EP US); G05B 19/235 (2013.01 - EP US); H01L 24/78 (2013.01 - EP US); G05B 2219/45033 (2013.01 - EP US); G05B 2219/49362 (2013.01 - EP US); H01L 2224/78 (2013.01 - EP US); H01L 2224/78301 (2013.01 - EP US); H01L 2924/00014 (2013.01 - EP US); H01L 2924/01005 (2013.01 - EP US); H01L 2924/01019 (2013.01 - EP US); H01L 2924/01033 (2013.01 - EP US); H01L 2924/01039 (2013.01 - EP US); H01L 2924/12041 (2013.01 - EP US); H01L 2924/14 (2013.01 - EP US)
Citation (search report)
See references of WO 8911120A1
Designated contracting state (EPC)
CH DE FR GB LI NL
DOCDB simple family (publication)
US 4817848 A 19890404; EP 0371110 A1 19900606; IL 89950 A0 19891215; JP H02504573 A 19901220; WO 8911120 A1 19891116
DOCDB simple family (application)
US 19345088 A 19880512; EP 89905944 A 19890405; IL 8995089 A 19890413; JP 50582089 A 19890405; US 8901389 W 19890405