EP 0380654 A1 19900808 - LENS ARRAYS FOR LIGHT SENSITIVE DEVICES.
Title (en)
LENS ARRAYS FOR LIGHT SENSITIVE DEVICES.
Title (de)
LINSENANORDNUNGEN FÜR PHOTOEMPFINDLICHE VORRICHTUNGEN.
Title (fr)
RESEAUX DE LENTILLES POUR DISPOSITIFS PHOTOSENSIBLES.
Publication
Application
Priority
US 22834588 A 19880801
Abstract (en)
[origin: WO9001805A1] In the method of this invention, lens arrays for light sensitive devices are formed in SiO2 or other hard dielectric material consisting of forming lens arrays in photoresist on a layer of SiO2, then, using an etch with etch rates similar for oxide and resist, transferring the resist profile to the SiO2.
Abstract (fr)
Dans le procédé décrit, on forme des réseaux de lentilles pour dispositifs photosensibles dans du SiO2 ou un autre matériau diélectrique dur en formant lesdits réseaux dans un vernis photosensible sur une couche de SiO2, puis, au moyen d'une solution d'attaque avec des vitesses d'attaque semblables pour l'oxyde et le vernis photosensible, en transférant le profilé de vernis photosensible sur le SiO2.
IPC 1-7
IPC 8 full level
G02B 3/00 (2006.01); H01L 21/311 (2006.01); H01L 27/14 (2006.01); H01L 27/146 (2006.01); H01L 31/0232 (2014.01)
CPC (source: EP)
H01L 21/31116 (2013.01); H01L 21/31144 (2013.01); H01L 27/14627 (2013.01); H01L 31/02327 (2013.01)
Citation (search report)
See references of WO 9001805A1
Designated contracting state (EPC)
AT BE CH DE FR GB IT LI LU NL SE
DOCDB simple family (publication)
WO 9001805 A1 19900222; EP 0380654 A1 19900808; JP H03500834 A 19910221
DOCDB simple family (application)
US 8903181 W 19890727; EP 89909468 A 19890727; JP 50887189 A 19890727