EP 0389529 A1 19901003 - DEVICE FOR ELECTRIC CHARACTERIZATION SAMPLES AND APPLICATION TO THE ELECTRIC CARTOGRAPHY OF SEMICONDUCTOR SAMPLES OF LARGE SURFACE AREA.
Title (en)
DEVICE FOR ELECTRIC CHARACTERIZATION SAMPLES AND APPLICATION TO THE ELECTRIC CARTOGRAPHY OF SEMICONDUCTOR SAMPLES OF LARGE SURFACE AREA.
Title (de)
VORRICHTUNG ZUR ELEKTRISCHEN KENNZEICHNUNG VON PROBEN UND DIE ANWENDUNG AUF DIE ELEKTRISCHE KARTOGRAPHIE VON HALBLEITERPROBEN MIT GROSSER OBERFLÄCHE.
Title (fr)
DISPOSITIF DE CARACTERISATION ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS ET APPLICATION A LA CARTOGRAPHIE ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS SEMI-CONDUCTEURS DE GRANDE SURFACE.
Publication
Application
Priority
FR 8715858 A 19871117
Abstract (en)
[origin: WO8904969A1] The device described comprises an ultra-high frequency resonator which is coupled locally to the sample (34). The resonator consists of a loop of microstrip or triple wafer cable (20) supported on a conducting plane (16). The loop has a gap whose length is short in comparison with that of the loop and whose edges are arranged to allow them to be selectively coupled to the sample of material to be studied.
Abstract (fr)
Le dispositif comprend un résonateur hyperfréquence destiné à être couplé localement à l'échantillon (34). Ce résonateur est constitué par une boucle de ligne (20) microruban ou triplaque portée par un plan conducteur (16). La boucle présente une coupure de faible longueur par rapport à la longueur de la boucle, coupure dont les bords sont aménagés de façon à permettre de les coupler sélectivement à l'échantillon de matière à étudier.
IPC 1-7
IPC 8 full level
G01N 22/00 (2006.01)
CPC (source: EP US)
G01N 22/00 (2013.01 - EP US)
Citation (search report)
See references of WO 8904969A1
Designated contracting state (EPC)
DE GB NL
DOCDB simple family (publication)
FR 2623291 A1 19890519; FR 2623291 B1 19900316; EP 0389529 A1 19901003; US 5049812 A 19910917; WO 8904969 A1 19890601
DOCDB simple family (application)
FR 8715858 A 19871117; EP 88910050 A 19881116; FR 8800563 W 19881116; US 49055889 A 19890509