EP 0407587 A1 19910116 - PRESSURE SENSOR.
Title (en)
PRESSURE SENSOR.
Title (de)
DRUCKSENSOR.
Title (fr)
CAPTEUR DE PRESSION.
Publication
Application
Priority
JP 24707388 A 19880930
Abstract (en)
A pressure sensor forming a semiconductor distortion gauge on the surface of a metal diaphragm and a resistance of a circuit for compensating the temperature and zero point, the resistance being composed of the same material as the semiconductor distortion gauge. The resistance of the compensation circuit and the distortion gauge are formed simultaneously by patterning a thin polycrystalline silicon film and the like deposited on the diaphragm, in order to decrease the number of parts of the pressure sensor and the fabrication steps such as soldering, in order to increase the yield. When the resistances for zero point compensation are formed in plural numbers in order to broaden the range of zero point compensation, furthermore, the resistances are arranged nearly along a circumference relative to the center of the diaphragm in order to minimize variance in the resistance. The locking surface of the diaphragm forms a step relative to the pressure-receiving surface. Therefore, the pressure-receiving surface is not adversely affected even when the locking position is deviated on the locking surface under the condition where pressure is exerted on the diaphragm, and improved linearity is maintained in the output characteristics.
Abstract (fr)
Capteur de pression formant un distorsiomètre à semi-conducteurs à la surface de diaphragme métallique et résistance d'un circuit de compensation de la température et du point zéro, la résistance se composant du même matériau que le distorsiomètre à semi-conducteurs. On forme simultanément la résistance du circuit de compensation et le distorsiomètre en donnant une configuration spéciale à un film de silicium polycristallin et similaire déposé sur le diaphragme, afin de réduire le nombre de composants du capteur de pression et les étapes de fabrication telles que le soudage, dans le but d'accroître le rendement. En outre, lorsque les résistances pour la compensation du point zéro sont formées en plusieurs exemplaires afin d'accroître la plage de compensation du point zéro, ces résistances sont placées le long d'une circonférence par rapport au centre du diaphragme afin de réduire au maximum la variation de la résistance. La surface de blocage du diaphragme forme un gradin par rapport à la surface recevant la pression. Par conséquent, cette surface ne subit pas une influence défavorable même si la position de blocage est déviée sur la surface de blocage lorsqu'on exerce une pression sur le diaphragme, ce qui permet d'obtenir de meilleures caractéristiques de linéarité.
IPC 1-7
IPC 8 full level
G01L 9/00 (2006.01); H01L 29/84 (2006.01)
CPC (source: EP US)
G01L 9/0055 (2013.01 - EP US); H01L 29/84 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT
DOCDB simple family (publication)
WO 9003664 A1 19900405; EP 0407587 A1 19910116; EP 0407587 A4 19920311; US 5191798 A 19930309
DOCDB simple family (application)
JP 8900923 W 19890907; EP 89910199 A 19890907; US 49056591 A 19910610