EP 0417221 A1 19910320 - PROCESS FOR DETECTING THE ATTAINMENT OF A PREDETERMINED DEPTH IN TARGET BODY EROSION AND TARGET BODY THEREFOR.
Title (en)
PROCESS FOR DETECTING THE ATTAINMENT OF A PREDETERMINED DEPTH IN TARGET BODY EROSION AND TARGET BODY THEREFOR.
Title (de)
VERFAHREN ZUR DETEKTION DES ERREICHENS EINER VORGEBBAREN TIEFE DER TARGETKÖRPEREROSION SOWIE TARGETKÖRPER HIERFÜR.
Title (fr)
PROCEDE DE DETECTION D'UNE PROFONDEUR D'EROSION D'UN CORPS-CIBLE ET CORPS-CIBLE UTILISE DANS CE PROCEDE.
Publication
Application
Priority
US 32421089 A 19890315
Abstract (en)
[origin: WO9010947A1] In order to indicate when erosion of a target body (1) to be sputtered in a cathode sputtering process has reached a given depth (D), discontinuity sites formed by primary material to be sputtered (M1) and indication material (M2) are provided. Measurement signals are generated by a measurement transducer (11) which measures a quantity (s) which is propagated through the processing atmosphere (P) or through electric power supplies.
Abstract (fr)
Afin de détecter le moment où l'érosion d'un corps-cible (1) soumis à une pulvérisation cathodique a atteint une profondeur déterminée (D), un point de discontinuité est formé sur le corps-cible par un matériau primaire à pulvériser (M1) et par un matériau témoin (M2). Un transducteur de mesure (11) génère des signaux de mesure en mesurant une grandeur (s) qui se propage à travers l'atmosphère de traitement (P) ou des dispositifs d'alimentation en énergie électrique.
IPC 1-7
IPC 8 full level
C23C 14/34 (2006.01); C23C 14/54 (2006.01); H01J 37/32 (2006.01); H01J 37/34 (2006.01)
CPC (source: EP)
H01J 37/32935 (2013.01); H01J 37/34 (2013.01); H01J 37/3479 (2013.01)
Citation (search report)
See references of WO 9010947A1
Designated contracting state (EPC)
AT CH DE FR GB IT LI NL
DOCDB simple family (publication)
WO 9010947 A1 19900920; EP 0417221 A1 19910320; JP H03504743 A 19911017
DOCDB simple family (application)
CH 9000073 W 19900315; EP 90903743 A 19900315; JP 50387190 A 19900315