EP 0419358 A1 19910327 - Process for the preparation of disilane.
Title (en)
Process for the preparation of disilane.
Title (de)
Verfahren zur Herstellung von Disilan.
Title (fr)
Procédé de préparation de disilane.
Publication
Application
Priority
FR 8912478 A 19890922
Abstract (en)
[origin: US5089244A] Process for preparing disilane, wherein a raw gas including monosilane, disilane, trisilane and impurities such as phosphine, hydrogen sulfide, arsine, disiloxane and higher siloxanes, undergoes a step of separation by distillation for the substantial elimination of the other compounds of silicon, except disiloxane, and the substantial elimination of phosphine, hydrogen sulfide and arsine impurities, wherein a final purification of the disilane takes place by selective adsorption on molecular sieves, in which one is a sieve of type 3 A and which is used for the elimination of the siloxanes and hydrogen sulfide and the other is a sieve of type 4 A for the elimination of phosphine and arsine.
Abstract (fr)
Procédé de préparation de disilane, du genre où un gaz brut incorporant du monosilane, du disilane, du trisilane et des impuretés telles que phosphine, hydrogène sulfuré, arsine, disiloxane et siloxanes supérieurs, est soumis à une étape de séparation par distillation pour l'élimination substantielle des autres composés du silicium, à l'exception du disiloxane, et l'élimination substantielle des impuretés phosphine, hydrogène sulfuré et arsine, caractérisé en ce qu'on procède à une épuration finale du disilane par adsorption sélective sur tamis moléculaires, dont l'un est un tamis du type 3 A pour l'élimination des siloxanes et de l'hydrogène sulfuré et l'autre un tamis du type 4 A pour l'élimination de la phosphine et de l'arsine.
IPC 1-7
IPC 8 full level
B01J 20/18 (2006.01); C01B 33/04 (2006.01)
CPC (source: EP KR US)
C01B 33/04 (2013.01 - KR); C01B 33/046 (2013.01 - EP US)
Citation (search report)
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Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT
DOCDB simple family (publication)
EP 0419358 A1 19910327; EP 0419358 B1 19950329; CA 2025823 A1 19910323; DE 69018178 D1 19950504; DE 69018178 T2 19950914; FR 2652346 A1 19910329; FR 2652346 B1 19911129; JP H03112804 A 19910514; KR 910006144 A 19910427; US 5089244 A 19920218
DOCDB simple family (application)
EP 90402593 A 19900920; CA 2025823 A 19900920; DE 69018178 T 19900920; FR 8912478 A 19890922; JP 24411590 A 19900917; KR 900014976 A 19900921; US 58712590 A 19900924