EP 0450163 A1 19911009 - Apparatus for coating a substrate with materials, for example with metals.
Title (en)
Apparatus for coating a substrate with materials, for example with metals.
Title (de)
Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats mit Werkstoffen, beispielsweise mit Metallen.
Title (fr)
Dispositif pour revêtir un substrat avec les matériaux, par exemple avec les métaux.
Publication
Application
Priority
DE 4010495 A 19900331
Abstract (en)
In an apparatus for coating a substrate (1) with materials using current sources (10, 10a) which are each connected to electrodes (5 or 5a, respectively) which are mounted in an evacuable coating chamber (15a) and are each connected electrically to a target (3, 3a) which is sputtered and its sputtered particles deposit on the substrate (1), for which purpose a processing gas can be introduced into the coating chamber (15, 15a), to improve the layer (2) on the substrate (1) the individual targets (3, 3a) are held at an angle ( alpha , alpha ') to the plane of the substrate (1), so that the longitudinal axes (l, l') or the main migration directions of the coating material intersect at the point (S). <IMAGE>
Abstract (de)
Bei einer Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats (1) mit Werkstoffen, mit Hilfe von Stromquellen (10, 10a), welche jeweils mit einer in einer evakuierbaren Beschichtungskammer (15a) angeordneten Elektroden (5 bzw. 5a) verbunden sind, die jeweils elektrisch mit einem Target (3, 3a) in Verbindung stehen, das zerstäubt wird und dessen zerstäubte Teilchen sich auf dem Substrat (1) niederschlagen, wozu in die Beschichtungskammer (15, 15a) ein Prozeßgas einbringbar ist, sind zur Verbesserung der Schicht (2) auf dem Substrat (1) die einzelnen Targets (3, 3a) in einem Winkel (α, α') zur Ebene des Substrats (1) gehalten, so daß sich über Längsachsen (l, l') bzw. die Hauptwanderungsrichtungen des Beschichtungsmaterials im Punkt (S) schneiden. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
C23C 14/34 (2006.01); C23C 14/22 (2006.01); C23C 14/35 (2006.01); H01J 37/34 (2006.01)
CPC (source: EP KR)
C23C 14/225 (2013.01 - EP); C23C 14/35 (2013.01 - KR); C23C 14/352 (2013.01 - EP); H01J 37/3405 (2013.01 - EP)
Citation (search report)
- [X] DE 2913724 A1 19791011 - VARIAN ASSOCIATES
- [X] DE 3409342 A1 19840920 - SATIS VACUUM AG [CH]
- [A] EP 0347567 A2 19891227 - LEYBOLD AG [DE]
Designated contracting state (EPC)
CH DE ES FR IT LI
DOCDB simple family (publication)
EP 0450163 A1 19911009; DE 4010495 A1 19911002; DE 4010495 C2 19970731; JP H04228564 A 19920818; KR 910016960 A 19911105
DOCDB simple family (application)
EP 90123512 A 19901207; DE 4010495 A 19900331; JP 6005491 A 19910325; KR 910003276 A 19910228