EP 0470957 A1 19920219 - ETCHANT SOLUTION FOR PHOTORESIST-PATTERNED METAL LAYERS.
Title (en)
ETCHANT SOLUTION FOR PHOTORESIST-PATTERNED METAL LAYERS.
Title (de)
ÄTZLÖSUNG FÜR METALLSCHICHT MIT PHOTOLACKSTRUKTUR.
Title (fr)
SOLUTION DE GRAVURE POUR COUCHES METALLIQUES GRAVEES PAR UN AGENT PHOTORESISTANT.
Publication
Application
Priority
US 34712889 A 19890504
Abstract (en)
[origin: US4895617A] An etchant solution comprised of water and: (a) about 65% to 75% by weight phosphoric acid; (b) about 1% to 5% by weight nitric acid; (c) about 0% to 15% by weight acetic acid; and (d) about 0.005% to about 5% of an amine oxide surfactant having the formula (I): <IMAGE> (I) wherein R1 and R2 are each independently selected from the group consisting of lower alkyl group having 1-4 carbon atoms and lower alkoxy groups having 1-4 carbon atoms and R3 is a higher alkyl group having 8 to 18 carbon atoms or a mixture thereof.
Abstract (fr)
Une solution de gravure se caractérise par le fait de comprendre de l'eau et: (a) entre 65 % et 75 % en poids environ d'acide phosphorique; (b) entre 1 % et 5 % en poids environ d'acide nitrique; (c) entre 0 % et 15 % en poids environ d'acide acétique; et (d) entre 0.005 % et 5 % en poids environ d'un agent tensio-actif en oxyde d'amine ayant la formule (I), dans laquelle R1 et R2 sont sélectionnés indépendamment l'un de l'autre dans le groupe formé du groupe alkyle inférieur ayant entre 1 et 4 atomes de carbone et des groupes alkoxy inférieurs ayant entre 1 et 4 atomes de carbone, et R3 est un groupe alkyle supérieur ayant entre 8 et 18 atomes de carbone ou un mélange de ceux-ci.
IPC 1-7
IPC 8 full level
B44C 1/22 (2006.01); C09K 13/06 (2006.01); C23F 1/20 (2006.01); H01L 21/308 (2006.01); H01L 21/3213 (2006.01); H05K 3/06 (2006.01)
CPC (source: EP KR US)
C09K 13/04 (2013.01 - KR); C09K 13/06 (2013.01 - EP US); C23F 1/20 (2013.01 - EP US); H01L 21/32134 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
BE CH DE FR GB IT LI NL SE
DOCDB simple family (publication)
US 4895617 A 19900123; AU 4663289 A 19901129; DE 68912351 D1 19940224; DE 68912351 T2 19940505; EP 0470957 A1 19920219; EP 0470957 A4 19920603; EP 0470957 B1 19940112; JP 2919959 B2 19990719; JP H04506528 A 19921112; KR 920700939 A 19920810; WO 9013443 A1 19901115
DOCDB simple family (application)
US 34712889 A 19890504; AU 4663289 A 19891127; DE 68912351 T 19891127; EP 90901235 A 19901120; JP 50128889 A 19891127; KR 910701313 A 19911011; US 8905264 W 19891127