EP 0535054 A1 19930407 - METALLIZING APPARATUS.
Title (en)
METALLIZING APPARATUS.
Title (de)
METALLISIERUNGSGERÄT.
Title (fr)
APPAREIL DE METALLISATION.
Publication
Application
Priority
- GB 9013498 A 19900616
- GB 9018624 A 19900824
Abstract (en)
[origin: WO9120091A1] A machine for depositing atoms and molecules on an elongate flexible web (6) of material comprising a rotatable cylindrical drum (3) round a part of the cylindrical surface of which the web passes from a supply reel (4) to a take up reel (5). A target (10) from which the atoms and molecules are sputtered onto the web (6) is disposed adjacent the drum (3). This target (10) is curved and concentric with the drum (3). Magnets (13) for the target are disposed beneath the target. These are curved, concentric with the target and the drum, and arranged for oscillation in the direction of the longitudinal axis of the drum. The arrangement promotes uniformity of atom and molecule deposition and equalizes target erosion.
Abstract (fr)
Une machine pour déposer des atomes et des molécules sur une bande de matériau souple allongée (6) comprend un tambour cylindrique rotatif (3), la bande passant sur une partie de la surface cylindrique du tambour entre une bobine débitrice (4) et une bobine réceptrice (5). Une cible (10) à partir de laquelle les atomes et molécules sont pulvérisés sur la bande (6) est adjacente au tambour (3). Cette cible (10) est courbe et concentrique par rapport au tambour (3). Des aimants (13) pour la cible sont agencés sous cette dernière. Ces aimants sont courbes, concentriques par rapport à la cible et au tambour, et oscillent dans le sens de l'axe longitudinal du tambour. Cet agencement permet d'obtenir un dépôt d'atomes et de molécules plus uniforme et compense l'érosion de la cible.
IPC 1-7
IPC 8 full level
C23C 14/35 (2006.01); C23C 14/34 (2006.01); C23C 14/56 (2006.01); H01J 37/34 (2006.01)
CPC (source: EP KR)
C23C 14/3407 (2013.01 - EP); C23C 14/35 (2013.01 - KR); C23C 14/562 (2013.01 - EP); H01J 37/3405 (2013.01 - EP)
Citation (search report)
See references of WO 9120091A1
Designated contracting state (EPC)
CH DE FR GB IT LI NL SE
DOCDB simple family (publication)
WO 9120091 A1 19911226; EP 0535054 A1 19930407; JP H05507765 A 19931104; KR 930700695 A 19930315
DOCDB simple family (application)
GB 9100955 W 19910613; EP 91911103 A 19910613; JP 51056991 A 19910613; KR 920703166 A 19921210