EP 0539889 A2 19930505 - Micromechanical actuator.
Title (en)
Micromechanical actuator.
Title (de)
Mikromechanischer Aktor.
Title (fr)
Actionneur micromécanique.
Publication
Application
Priority
- DE 4135833 A 19911030
- DE 4229507 A 19920904
Abstract (en)
In order for a micromechanical actuator, in particular a micromechanical 3-D actuator, having only one moving part to be capable of executing three-dimensional excursions, this actuator has a stator (2) and a part (1) which can move relative thereto, can be configured as a flat part, and is connected to the stator (2) preferably by springs (6) or spring arrangements. <IMAGE>
Abstract (de)
Damit ein mikromechanischer Aktor, insbesondere ein mikromechanischer 3-D-Aktor, mit nur einem bewegten Teil in der Lage ist, dreidimensionale Auslenkungen auszuführen, besitzt dieser Aktor einen Stator (2) und ein relativ zu diesem bewegliches Teil (1), das als Flachteil ausgestaltet sein kann und das vorzugsweise durch Federn (6) bzw. Federanordnungen mit dem Stator (2) verbunden ist. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
B23Q 1/00 (2006.01); B23Q 1/36 (2006.01); B23Q 1/44 (2006.01); B23Q 5/28 (2006.01); G02B 7/182 (2006.01); G02B 26/08 (2006.01); H01S 3/101 (2006.01); H02N 1/00 (2006.01)
CPC (source: EP US)
G02B 7/1827 (2013.01 - EP US); G02B 26/0841 (2013.01 - EP US); H02N 1/006 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT
DOCDB simple family (publication)
EP 0539889 A2 19930505; EP 0539889 A3 19930728; JP H05251805 A 19930928; US 5408355 A 19950418
DOCDB simple family (application)
EP 92118214 A 19921023; JP 29177192 A 19921029; US 96979992 A 19921030