Title (en)

Miniature acceleration sensor using vibrating beams in the bending mode.

Title (de)

Miniaturbeschleunigungsmessfühler mit streifenförmigen Biegeschwingern.

Title (fr)

Capteur accélérométrique miniature à lames vibrant en flexion.

Publication

EP 0551152 A1 19930714 (FR)

Application

EP 93200009 A 19930105

Priority

FR 9200044 A 19920106

Abstract (en)

The sensor comprises a massive stationary part (1), a massive moving part (2) and two plates made of a piezoelectric material (31;32) vibrating in bending mode, each (31) of the plates having ends integral with the massive parts, and a longitudinal side which supports first and second electrodes. In order to improve the piezoelectric coupling in the sensor, and to subject the vibrating plates principally to extension and compression strains, a quarter of the length, or preferably the central half, of the side of the plate supports longitudinal symmetrical first electrode strips (3421, 3431) and an axial second electrode strip (3422). The sensor also comprises articulations (441, 442), integral with the massive parts, which are stepped so as to chemically manufacture in a single etching stage, a wafer of piezoelectric material of uniform thickness (E), in order to obtain a monolithic body for the sensor, which is preferably symmetrical with respect to a central axis (Z'Z). <IMAGE>

Abstract (fr)

Le capteur comprend une partie massive fixe (1), une partie massive mobile (2) et deux lames en matériau piézoélectrique vibrant en flexion (31; 32), chacune (31) des lames ayant des extrémités solidaires des parties massives et un côté longitudinal qui supporte des première et seconde électrodes. Afin d'augmenter le couplage piézoélectrique dans le capteur et de soumettre les lames vibrantes principalement à des contraintes d'extension et de compression, un quart de longueur, ou de préférence la moitié centrale du côté de la lame, supporte deux bandes longitudinales symétriques de première électrode (3421, 3431) et une bande axiale de seconde électrode (3422). Le capteur comprend également deux articulations (441, 442) solidaires des parties massives, qui sont en marche d'escalier de manière à usiner chimiquement en une seule étape de gravure une plaque en matériau piézoélectrique d'épaisseur uniforme (E) afin d'obtenir un corps monolithique du capteur, de préférence symétrique par rapport à un axe central (Z'Z). <IMAGE>

IPC 1-7

G01P 15/10

IPC 8 full level

G01P 15/097 (2006.01); G01P 15/10 (2006.01)

CPC (source: EP)

G01P 15/097 (2013.01); G01P 2015/0828 (2013.01)

Citation (search report)

• [AD] EP 0414588 A1 19910227 - ONERA (OFF NAT AEROSPATIALE) [FR]
• [A] GB 2141286 A 19841212 - OHAUS SCALE CORP
• [A] US 4766768 A 19880830 - NORLING BRIAN L [US], et al
• [A] EP 0050307 A2 19820428 - QUARTEX INC [US]

Designated contracting state (EPC)

DE ES GB IT SE

DOCDB simple family (publication)

EP 0551152 A1 19930714; EP 0551152 B1 19950816; DE 69300367 D1 19950921; DE 69300367 T2 19960201; ES 2076824 T3 19951101; FR 2685964 A1 19930709; FR 2685964 B1 19960607

DOCDB simple family (application)

EP 93200009 A 19930105; DE 69300367 T 19930105; ES 93200009 T 19930105; FR 9200044 A 19920106