EP 0563247 A1 19931006 - PHOTODEFINABLE INTERLEVEL DIELECTRICS.
Title (en)
PHOTODEFINABLE INTERLEVEL DIELECTRICS.
Title (de)
DURCH LICHT DEFINIERBARE DIELEKTRISCHE ZWISCHENSCHICHT.
Title (fr)
DIELECTRIQUES INTERCOUCHES PHOTODEFINISSABLES.
Publication
Application
Priority
- US 63010790 A 19901219
- US 63011890 A 19901219
Abstract (en)
[origin: WO9211580A1] A predetermined pattern of a dielectric polymer is formed on a substrate from either a first prepolymer which is an ether of the reaction product of a dicyclopendadiene and a phenol or a mixture of said prepolymer with a second prepolymer which is an ether of the reaction product of a dialdehyde and 3 to 4 moles of a phenol.
Abstract (fr)
On forme une structure prédéterminée d'un polymère diélectrique sur un substrat à partir soit d'un premier prépolymère qui est un éther du produit réactionnel d'un dicyclopentadiène et d'un phénol, soit d'un mélange dudit prépolymère et d'un second prépolymère qui est un éther du produit réactionnel d'un dialdéhyde et de 3 ou 4 moles d'un phénol.
IPC 1-7
IPC 8 full level
C07C 43/215 (2006.01); C08G 61/00 (2006.01); C08G 69/00 (2006.01); C08L 61/04 (2006.01); C08L 61/06 (2006.01); G03F 7/027 (2006.01); G03F 7/038 (2006.01); H01B 3/36 (2006.01); H01L 21/312 (2006.01); H01L 23/498 (2006.01); H01L 23/532 (2006.01); H05K 3/28 (2006.01); H05K 3/46 (2006.01); H05K 1/00 (2006.01)
CPC (source: EP US)
C07C 43/215 (2013.01 - EP); C08G 61/00 (2013.01 - EP); C08G 69/00 (2013.01 - EP); G03F 7/027 (2013.01 - EP); G03F 7/038 (2013.01 - EP); H01L 21/02118 (2013.01 - EP US); H01L 23/49894 (2013.01 - EP); H01L 23/5329 (2013.01 - EP); C07C 2603/68 (2017.04 - EP); H01L 21/02282 (2013.01 - EP US); H01L 21/02348 (2013.01 - US); H01L 2924/0002 (2013.01 - EP); H05K 3/4676 (2013.01 - EP)
Citation (search report)
See references of WO 9211580A1
Designated contracting state (EPC)
AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU MC NL SE
DOCDB simple family (publication)
WO 9211580 A1 19920709; EP 0563247 A1 19931006; JP H06505101 A 19940609
DOCDB simple family (application)
US 9109392 W 19911211; EP 92902902 A 19911211; JP 50371392 A 19911211