EP 0763215 A1 19970319 - MICRO-OPTICAL PROBE FOR A SCANNING MICROSCOPE

Title (en)

MICRO-OPTICAL PROBE FOR A SCANNING MICROSCOPE

Title (de)

MIKROOPTISCHE SONDE FÜR RASTERMIKROSKOPE

Title (fr)

SONDE MICRO-OPTIQUE POUR MICROSCOPE A BALAYAGE

Publication

EP 0763215 A1 19970319 (DE)

Application

EP 96911945 A 19960326

Priority

DE 19511612 A 19950330
DE 19531465 A 19950826
EP 9601322 W 19960326

Abstract (en)

[origin: WO9630797A1] Die mikrooptische Sonde ist derart ausgebildet, dass die dem Objekt zugewandte Seite des optischen Wellenleiters aus einer optisch hochbrechenden Mikrotastspitze besteht und sie in beiden zur Lichtausbreitung senkrechten Richtungen jeweils zum Objekt hin auslaufend Abmessungen von annähernd B = lambda /2n besitzt, wobei lambda die Vakuumwellenlänge des verwendeten Lichtes und n der Brechungsindex des optischen Wellenleiters ist und dass der optische Wellenleiter mit dem piezoelektrischen Erreger mechanisch gekoppelt ist.

IPC 1-7

G02B 21/00; G01B 7/34

IPC 8 full level

G01Q 60/18 (2010.01); G12B 21/06 (2006.01)

CPC (source: EP)

G01Q 60/22 (2013.01)

Citation (search report)

See references of WO 9630797A1

Designated contracting state (EPC)

CH DE FR GB LI

DOCDB simple family (publication)

WO 9630797 A1 19961003; EP 0763215 A1 19970319

DOCDB simple family (application)

EP 9601322 W 19960326; EP 96911945 A 19960326