EP 0768498 A2 19970416 - Assembly comprising a device for producing a clean and poor in turbulences air current and a device with local clean-room
Title (en)
Assembly comprising a device for producing a clean and poor in turbulences air current and a device with local clean-room
Title (de)
Anordnung mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes und einer Geräteeinheit mit lokalem Reinraum
Title (fr)
Ensemble comportant un dispositif pour produire un courant d'air purifié, pauvre en turbulences et un dispositif avec une salle blanche locale
Publication
Application
Priority
DE 19538040 A 19951013
Abstract (en)
The equipment has a fan (3) and a filter (4). The latter has an intake on one side (6) for uncleaned air, and has an outlet on the opposite side for clean air. The equipment is enclosed by the walls of a plenum chamber (1), and one wall has an intake opening which is connected to the fan in order to suck in air. Another wall has an outlet opening (9), against which the filter outlet rests. The wall of the chamber which is opposite from the outlet, is adjacent to the side of the filter in which the intake is arranged, in order to form a space (12), which is connected with the remainder of the chamber. The fan may be adjacent to the filter in a direction which is perpendicular to the clean airflow.
Abstract (de)
Bei einer Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume besteht die Aufgabe, die Bautiefe einer Luftaufbereitungsanlage zu verringern und außerdem in einfacher Weise eine Schwingungsübertragung von luftstromerzeugenden Mitteln auf eine zu versorgende Geräteeinheit weitgehend zu vermeiden. Gemäß der Erfindung ist einem, in einer Plenumkammer untergebrachten Filter an der Seite des Eintrittes ungereinigter Luft die Plenumkammerwand benachbart, die einer Auslaßöffnung in der Plenumkammer gegenüberliegt. Zwischen der Wand und dem Filter bleibt ein Raum frei, der mit dem übrigen Raum der Plenumkammer in Verbindung steht und der vorwiegend zur Ausbildung des Plenums dient. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise anwendbar. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
F24F 7/007 (2006.01); F24F 3/16 (2006.01); F24F 7/06 (2006.01)
CPC (source: EP KR US)
F24F 3/167 (2021.01 - EP US); F24F 7/007 (2013.01 - KR); F24F 7/06 (2013.01 - KR); F24F 13/20 (2013.01 - KR); F24F 13/28 (2013.01 - KR)
Designated contracting state (EPC)
AT BE CH DE ES FR GB IE IT LI NL
DOCDB simple family (publication)
EP 0768498 A2 19970416; EP 0768498 A3 19991124; DE 19538040 A1 19970417; DE 19538040 C2 19980813; JP 3091412 B2 20000925; JP H09126511 A 19970516; KR 0173766 B1 19990320; KR 970022014 A 19970528; SG 88724 A1 20020521; US 5814116 A 19980929
DOCDB simple family (application)
EP 96107219 A 19960507; DE 19538040 A 19951013; JP 14563596 A 19960607; KR 19960026826 A 19960703; SG 1996009946 A 19960601; US 66348696 A 19960613