EP 0913500 A2 19990506 - Electroforming cell with adjusting device
Title (en)
Electroforming cell with adjusting device
Title (de)
Galvanische Abscheidungszelle mit Justiervorrichtung
Title (fr)
Cellule d'électroformage avec dispositif d'ajustage
Publication
Application
Priority
- EP 99100886 A 19960401
- EP 96105230 A 19960401
Abstract (en)
The titanium anode container (56) of electroplating apparatus is cube shaped, with its rear wall parallel to or against the container (50) wall. A titanium spacer maintains a set gap between the rear and leading anode container walls. The carrier surface can be adjusted in relation to the surface of the anode container. The electroplating apparatus has a container (50) for the electrolyte (58), with at least one wall angled against the vertical. The titanium anode container (56) is filled with an anode material. An outlet surface (89) for ions is on the surface of the carrier (87) acting as the cathode, where they are deposited, facing the anode container (56). The anode container (56) is cube shaped, with its rear wall parallel to or against the container (50) wall. A titanium spacer maintains a set gap between the rear and leading anode container walls. The carrier surface can be adjusted in relation to the surface of the anode container.
Abstract (de)
Beschrieben wird eine Einrichtung zur galvanischen Abscheidung einer Metallschicht auf einem Träger, mit einem Behälter (50) zur Aufnahme des Elektrolyten (58), mit einem mit Anodenmaterial gefüllten Anodenbehälter (56) mit einer im wesentlichen planen Austrittsfläche (89) für Metallionen des Anordenmaterials. Ein Trägerhalter (86) ist mit einer angetriebenen Welle (84) verbunden, die in einer Antriebsvorrichtung (54) auf einem Deckel (52) des Behälters (50) gelagert ist. Der Deckel (52) ist um eine Drehachse einer Schwenkvorrichtung (70) drehbar gelagert, die auf der dem Anodenbehälter (56) gegenüberliegenden Seite des Behälters (50) befestigt ist. Erfindungsgemäß ist die Trägeroberfläche in bezug auf die ihr gegenüberliegende Austrittsfläche (89) des Anodenbehälters (56) justierbar. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
C25D 1/00 (2006.01); C25D 1/10 (2006.01); C25D 17/12 (2006.01); G11B 7/26 (2006.01)
CPC (source: EP KR US)
C25D 1/10 (2013.01 - EP KR US)
Designated contracting state (EPC)
AT DE FR GB IE NL SE
DOCDB simple family (publication)
EP 0913500 A2 19990506; EP 0913500 A3 19990609; EP 0913500 B1 20020703; AT E190676 T1 20000415; CN 1094156 C 20021113; CN 1188518 A 19980722; DE 59604685 D1 20000420; EP 0799910 A1 19971008; EP 0799910 B1 20000315; JP 2001152382 A 20010605; JP 3135128 B2 20010213; JP 3267601 B2 20020318; JP H10506684 A 19980630; KR 100297459 B1 20011025; KR 19990022196 A 19990325; TW 344763 B 19981111; US 5976329 A 19991102; WO 9737061 A1 19971009
DOCDB simple family (application)
EP 99100886 A 19960401; AT 96105230 T 19960401; CN 97190291 A 19970401; DE 59604685 T 19960401; EP 96105230 A 19960401; EP 9701639 W 19970401; JP 2000291962 A 20000921; JP 53494397 A 19970401; KR 19970708675 A 19971201; TW 86107879 A 19970607; US 97302498 A 19980313