Global Patent Index - EP 0926429 A1

EP 0926429 A1 19990630 - Distribution system for a working gas and supply installation for a working gas using said system

Title (en)

Distribution system for a working gas and supply installation for a working gas using said system

Title (de)

Arbeitsgasverteilungsvorrichtung und Arbeitsgasversorgungsanlage welche diese Vorrichtung verwendet

Title (fr)

Dispositif de distribution d'un gaz de travail et installation de fourniture d'un gaz de travail equipée d'un tel dispositif

Publication

EP 0926429 A1 19990630 (FR)

Application

EP 98403140 A 19981214

Priority

FR 9716491 A 19971224

Abstract (en)

The gas distribution system has a pipe assembly connected to a gas supply (5, 7) and to an output pipe (10, 10A) so as to feed the gas to a work unit (10B) which has operating parts (25) such as valves (27, 29) arranged around the pipes (15, 21, 23). These valves are used to regulate the gas flow in the pipes. The gas distribution system has also gas leak sensors (34) and a command/control unit. The command/control unit includes means for communicating with the operating parts and means for control of tasks relative to the operating parts as well as means for driving a control unit actuated by an operator of the gas distribution system (9A). The operating unit (45) includes a tactile screen (47) having principal control zones (60 to 68) associated with corresponding control tasks. The control zones contain graphic symbols (51 to 58) which are associated with the tasks to be performed and are permanently displaced on the tactile screen.

Abstract (fr)

L'invention concerne un dispositif de distribution d'un gaz de travail, comprenant un ensemble de canalisations, relié à au moins une source de gaz de travail et à au moins une canalisation de sortie pour acheminer le gaz de travail vers un poste de consommation, des organes fonctionnels (25,25A), et une unité de contrôle-commande (35,35A) comprenant des moyens (37) de communication avec lesdits organes fonctionnels (35,35A), des moyens (39) de contrôle de tâches relatives auxdits organes fonctionnels (25,25A), et des moyens (45) de pilotage des moyens de contrôle (39), actionnables par un opérateur du dispositif de distribution. Les moyens de pilotage (45) comprennent un écran tactile (47) présentant des zones principales de commande associées au contrôle de tâches correspondantes, lesquelles zones principales de commande étant délimitées par des graphiques associés auxdites tâches et affichés de façon permanente sur ledit écran tactile (47). <IMAGE>

IPC 1-7

F17D 3/00; F17C 13/02; G05B 23/02

IPC 8 full level

H01L 21/302 (2006.01); B01J 4/00 (2006.01); F17C 13/02 (2006.01); F17D 3/00 (2006.01); G01N 27/00 (2006.01); G01N 27/04 (2006.01); G05B 23/02 (2006.01); H01L 21/304 (2006.01); H01L 21/3065 (2006.01)

CPC (source: EP KR US)

F17C 13/02 (2013.01 - EP US); F17D 3/00 (2013.01 - EP KR US); F17C 13/02 (2013.01 - KR); F17C 2205/0326 (2013.01 - EP KR US); F17C 2221/037 (2013.01 - EP KR US); F17C 2227/04 (2013.01 - EP KR US); F17C 2250/032 (2013.01 - EP US); F17C 2250/043 (2013.01 - EP US); F17C 2250/0636 (2013.01 - EP KR US); F17C 2270/05 (2013.01 - EP US); Y10T 137/8175 (2015.04 - EP US)

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

BE CH DE FI FR GB IT LI NL SE

DOCDB simple family (publication)

EP 0926429 A1 19990630; CN 1083965 C 20020501; CN 1221090 A 19990630; FR 2772881 A1 19990625; FR 2772881 B1 20000114; JP H11316603 A 19991116; KR 19990063368 A 19990726; SG 70661 A1 20000222; TW 396258 B 20000701; US 6273129 B1 20010814

DOCDB simple family (application)

EP 98403140 A 19981214; CN 98126036 A 19981224; FR 9716491 A 19971224; JP 36474498 A 19981222; KR 19980057593 A 19981223; SG 1998005370 A 19981209; TW 87121140 A 19981218; US 21757398 A 19981221