Global patent index - EP 0995908 A1

EP 0995908 A1 2000-04-26 - Molecular pump

Title (en)

Molecular pump

Title (de)

Molekularpumpe

Title (fr)

Pompe moléculaire

Publication

EP 0995908 A1 (FR)

Application

EP 98203502 A

Priority

EP 98203502 A

Abstract (en)

The molecular pump consists of a sealed housing (1) with an inlet (2) and an outlet (3) for connecting to a discharge pump. Between the inlet and outlet the housing has a series of fixed elements (4) containing a piezo-electric material (6) to accelerate the gas molecules towards the outlet. The molecular pump consists of a sealed housing (1) with an inlet (2) and an outlet (3) for connecting to a discharge pump. Between the inlet and outlet the housing has a series of fixed elements (4) containing a piezo-electric material (6) to accelerate the gas molecules towards the outlet. The piezo-electric material, fixed to a support and coated with a conductor (7), can be of quartz, Rochette salt, lithium sulfate, lead methaniobate, lead titanate, lead zirconate titanate, or a polymer.

Abstract (fr)

L'invention est relative à une pompe moléculaire permettant d'évacuer un gaz d'une enceinte et de créer ainsi dans cette dernière un vide poussé, comprenant une boîte sensiblement étanche (1) présentant à un de ses côtés une ouverture d'entrée (2), destinée à être raccordée à l'enceinte susdite et, à son côté opposé au côté susdit, une ouverture de sortie (3), de préférence destinée à être connectée à une pompe de décharge, des éléments (4) étant montés entre ces deux ouvertures (2) et (3) à une certaine distance l'un de l'autre en des endroits sensiblement fixes dans la boîte susdite (1) pour le passage du gaz, lesdits éléments (4) étant tels à permettre d'impliquer aux molécules du gaz précité, provenant de l'enceinte susdite et venant en contact avec ces éléments (4), une vitesse dont la résultante est orientée vers l'ouverture de sortie (3). <IMAGE>

IPC 1-7 (main, further and additional classification)

F04D 33/00

IPC 8 full level (invention and additional information)

F04D 29/00 (2006.01); F04D 29/02 (2006.01); F04D 29/58 (2006.01); F04D 33/00 (2006.01)

CPC (invention and additional information)

F04D 33/00 (2013.01)

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

EPO simple patent family

EP 0995908 A1 20000426; AT 220765 T 20020815; AU 6183999 A 20000508; AU 763828 B2 20030731; CA 2347169 A1 20000427; DE 69902187 D1 20020822; DE 69902187 T2 20030306; DK 1125065 T3 20021104; EP 1125065 A1 20010822; EP 1125065 B1 20020717; ES 2181480 T3 20030216; JP 2002527683 A 20020827; PT 1125065 E 20021231; US 6612816 B1 20030902; WO 0023715 A1 20000427; ZA 200104022 B 20020517

INPADOC legal status

2001-09-13 [REG DE 8566] DESIGNATED COUNTRY DE NOT LONGER VALID

- Ref Legal Event Code: 8566

2001-08-08 [18D] DEEMED TO BE WITHDRAWN

- Ref Legal Event Code: 18D

- Effective date: 20001027

2001-01-03 [AKX] PAYMENT OF DESIGNATION FEES

- Ref Legal Event Code: AKX

2000-04-26 [AK] DESIGNATED CONTRACTING STATES:

- Ref Legal Event Code: AK

- Designated State(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

2000-04-26 [AX] REQUEST FOR EXTENSION OF THE EUROPEAN PATENT TO

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