EP 1077368 A1 20010221 - Capacitive ceramic pressure sensor
Title (en)
Capacitive ceramic pressure sensor
Title (de)
Kapazitiver keramischer Drucksensor
Title (fr)
Capteur céramique capacitif de pression
Publication
Application
Priority
EP 99115658 A 19990807
Abstract (en)
The pressure sensor has a ceramic base body (20) with a circular membrane bed (22), a ceramic membrane (30) attached to the base body to cover the membrane bed and a measurement capacitor for generating a measurement signal with two opposing electrodes (40a, 40b). The membrane bed has a concave central area (60) bounded by a more strongly convex edge area (62), with a transition region (64) extending over a third of the membrane bed radius.
Abstract (de)
Ein kapazitiven keramischen Drucksensor 10 weist einen keramischen Grundkörper 20 mit einem speziell geformten Membranbett 22 auf. Die Schnittlinie des Membranbetts 22 ist im Bereich der konkaven Randfläche stärker als im Bereich der konvexen Zentralfläche gekrümmt. Der Wechsel zwischen konkaver und konvexer Krümmung der Schnittlinie erfolgt innerhalb einer gewissen Randzone, die sich über ein Drittel des Membranbettradius R erstreckt. Durch die spezielle Form des Membranbetts 22 kann einerseits die Spannungsbelastung im Betrieb des Drucksensors relativ gering gehalten werden, andererseits erhält man dadurch einen relativ großen Abstand Membranunterseite 32 und Membranbett 22, was u.a. höhere Fertigungstoleranzen erlaubt. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
G01L 9/00 (2006.01)
CPC (source: EP)
G01L 9/0075 (2013.01)
Citation (search report)
- [DA] US 4829826 A 19890516 - VALENTIN JEAN-PASCAL [FR], et al
- [A] EP 0419219 A2 19910327 - TEXAS INSTRUMENTS INC [US]
- [A] US 3277720 A 19661011 - WILFRED ROTH
- [A] US 5050034 A 19910917 - HEGNER FRANK [DE], et al
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT
DOCDB simple family (publication)
EP 1077368 A1 20010221; EP 1077368 B1 20021120; DE 59903469 D1 20030102
DOCDB simple family (application)
EP 99115658 A 19990807; DE 59903469 T 19990807