EP 1148368 A2 20011024 - Device for combining housings or mountings for optical elements
Title (en)
Device for combining housings or mountings for optical elements
Title (de)
Vorrichtung zum Verbinden von Gehäusen oder Fassungen für optische Elemente
Title (fr)
Appareil pour combiner boîtiers ou montures pour éléments optiques
Publication
Application
Priority
DE 10019562 A 20000420
Abstract (en)
[origin: US2001033435A1] An optical element housing or mounting connector (4), in particular for lens elements (13) in lens systems (12) for semiconductor-lithography projection printing machines, is provided with electro-permanent magnets (1), the electro-permanent magnets being magnetized by the magnetic field of a coil (5) connected to an activating device (8) in such a way that the housings or mountings (4) are connected to one another by magnetic forces.
Abstract (de)
Eine Vorrichtung zum Verbinden von Gehäusen oder Fassungen (4) für optische Elemente (13), insbesondere für Linsen in Objektiven (12) für Halbleiter-Projektionsbelichtungsanlagen, ist mit Elektro-Permanentmagneten (1) versehen, wobei die Elektro-Permanentmagnete durch das Magnetfeld einer mit einer Ansteuereinrichtung (8) verbundenen Spule (5) derart aufmagnetisiert sind, daß die Gehäuse oder Fassungen (4) durch Magnetkräfte miteinander verbunden sind. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
G02B 7/02 (2006.01); G02B 27/62 (2006.01); G03F 7/20 (2006.01); H01L 21/027 (2006.01)
CPC (source: EP US)
G02B 7/021 (2013.01 - EP US); G02B 7/023 (2013.01 - EP US); G02B 27/62 (2013.01 - EP US); G03F 7/70258 (2013.01 - EP US); G03F 7/70808 (2013.01 - EP US); G03F 7/70825 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
DE NL
DOCDB simple family (publication)
EP 1148368 A2 20011024; EP 1148368 A3 20040114; DE 10019562 A1 20011025; JP 2001350077 A 20011221; US 2001033435 A1 20011025; US 6445515 B2 20020903
DOCDB simple family (application)
EP 01102862 A 20010214; DE 10019562 A 20000420; JP 2001120953 A 20010419; US 83995801 A 20010419