EP 1220285 A2 20020703 - Ion source in which a UV/VUV light source is used for ionization
Title (en)
Ion source in which a UV/VUV light source is used for ionization
Title (de)
Ionenquelle, bei der UV/VUV-Licht zur Ionisation verwendet wird
Title (fr)
Source d' ions dans laquelle une source de lumière UV/VUV est utilisée pour l' ionisation
Publication
Application
Priority
DE 10044655 A 20000909
Abstract (en)
[origin: DE10044655A1] The ion source has an ionisation chamber and a UV/VUV-excimer light source for generating ions by directing light into a sample gas. The light source is provided by a deuterium lamp, a micro hollow cathode lamp, a micro point lamp, a DC discharge lamp, a barrier discharge lamp, or an electron beam UV/VUV lamp, with an electron gun (1), a membrane (3) between the electron gun and a gas space (9) containing a rare earth gas or gas mixture and optical elements (11,12) for imaging the light emission volume into the ionisation space (14).
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Ionenquelle, bei der die Ionen durch UV/VUV-Licht ionisiert wurden und deren Verwendung. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Ionenquelle mit einer Lichtquelle hoher Nutzphotonendichte zur Verfügung zu stellen sowie eine vorteilhafte Verwendung anzugeben. Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß die Lichtquelle entweder aus einer Deuteriumlape, einer Mikrohohlkathodenlampe, einer Mikrospitzenlampe, einer Gleichstromentladungslampe, einer Barriereentladungslampe oder einer elektronenstrahlbetriebenen UV/VUV Lampe mit folgenden Bauteilen, einer Elektronenkanone, einer Membran, welche den Raum der Elektronenkanone gegen einen Gasraum abschießt und durch den der Elektronenstrahl durchtritt, einem Edelgas bzw. einer edelgashaltigen Gasmischung in dem Gasraum, wobei der durch die Membran tretende Elektronenstrahl im Gasraum Licht erzeugt und optischen Bauelementen zum Abbilden des Licht-Emissionsvolumens in den Ionisationsraum besteht.
IPC 1-7
IPC 8 full level
H01J 49/16 (2006.01); H01J 49/40 (2006.01)
CPC (source: EP)
H01J 49/162 (2013.01)
Designated contracting state (EPC)
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
DOCDB simple family (publication)
DE 10044655 A1 20020404; EP 1220285 A2 20020703; EP 1220285 A3 20050316; EP 1220285 B1 20140820
DOCDB simple family (application)
DE 10044655 A 20000909; EP 01120299 A 20010824