EP 1291586 A2 20030312 - Process and device for the conditioning of exhaust air, in particular of clean rooms
Title (en)
Process and device for the conditioning of exhaust air, in particular of clean rooms
Title (de)
Anlage und Verfahren zur Abluftaufbereitung, insbesondere bei Reinraumanlagen
Title (fr)
Méthode et dispositif de conditionnement de l'air d'évacuation, en particulier dans les salles blanches
Publication
Application
Priority
DE 10143628 A 20010906
Abstract (en)
A ventilation unit, especially for clean room technology, has a fresh air inlet (5), an air outlet, a processing unit (2) with a filter (11) at its exit. The outlet (10) from the filter is connected with the fresh inlet and/or the work room (3) which can also be a machine- or store-room or laboratory. An Independent claim is also included for a ventilation process using the above unit.
Abstract (de)
In der Reinraumtechnik werden Prozeßgeräte in einem Arbeitsraum aufgestellt, aus dem eine Mindestabluftmenge abgesaugt werden muß. Viele Installationen, insbesondere im Bereich der Reinraumtechnik, werden mit zu hohen Absaugvolumina ausgestattet. Um schadstoffbelastete Abluftströme einfach und kostengünstig zu reinigen und zurückzuführen, ist in der Abluftleitung (10) des Prozeßgerätes (2) mindestens ein Filter (11) angeordnet. Die Abluftleitung (10) ist mit einer Zuluftleitung (5, 5') des Prozeßgerätes (2) und/oder des Arbeitsraumes (3) verbunden. Die Abluft wird im Filter (11) gereinigt und kann zum Prozeßgerät (2) zurückgeleitet werden. Die Anlage wird im Bereich der Reinraumtechnik eingesetzt. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
F24F 3/16 (2006.01)
CPC (source: EP US)
F24F 3/167 (2021.01 - EP US); F24F 8/108 (2021.01 - EP); F24F 8/15 (2021.01 - EP); F24F 8/90 (2021.01 - EP); F24F 8/108 (2021.01 - US); F24F 8/15 (2021.01 - US); F24F 8/90 (2021.01 - US)
Designated contracting state (EPC)
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
DOCDB simple family (publication)
EP 1291586 A2 20030312; EP 1291586 A3 20041215; CN 100491848 C 20090527; CN 1409062 A 20030409; DE 10143628 A1 20030327; SG 122765 A1 20060629; TW 564186 B 20031201; US 2003050004 A1 20030313; US 6808546 B2 20041026
DOCDB simple family (application)
EP 02019612 A 20020903; CN 02132033 A 20020906; DE 10143628 A 20010906; SG 200205418 A 20020906; TW 91119489 A 20020828; US 6498402 A 20020906