EP 1326059 A1 20030709 - Method and measuring device for controlling properties of a multi-layer structure
Title (en)
Method and measuring device for controlling properties of a multi-layer structure
Title (de)
Verfahren und Messgerät zur Kontrolle von Eigenschaften eines Mehrlagenschichtaufbaus
Title (fr)
Procédé et appareil de mesure pour contrôler des caractéristiques d'une structure multicouche
Publication
Application
Priority
EP 02000446 A 20020108
Abstract (en)
Method for checking the properties of individual layers of a multi-layer structure using reflected infrared radiation. Accordingly an energy pulse is used to apply a thermal shock wave of a given spectral width to the surface of the layer. From a 3-D diagram of spectral alterations in reflected radiation, conclusions can be made about layer thicknesses, defects, such as lack of adhesion and other properties. An Independent claim is made for a device for checking the properties of individual layers of a multi- layer structure based on a CMOS infrared sensing camera.
Abstract (de)
Bei einem Verfahren zur Kontrolle von Eigenschaften einzelner Schichten bei einem Mehrlagenschichtaufbau durch reflektierte Infrarotstrahlung wird mit einem Energiepuls eine thermische Schockwelle in einem definierten Spektralbereich auf die Oberfläche der Schicht aufgebracht; es wird ein von der Oberfläche ausgehendes dreidimensionales, durch die Mehrlagenschicht gehendes Diagramm der spektralen Änderungen der reflektieren Strahlung aufgenommen, und die spektralen Änderungen werden zu Aussagen bezüglich Schichtdicke, Fehlern, insbesondere Bindefehlern, und Haftung od.dgl. Eigenschaften ausgewertet. <IMAGE>
IPC 1-7
IPC 8 full level
G01B 11/06 (2006.01); G01N 21/35 (2006.01); G01N 25/72 (2006.01)
CPC (source: EP)
G01B 11/0616 (2013.01); G01B 21/085 (2013.01); G01N 21/3563 (2013.01); G01N 25/72 (2013.01)
Citation (search report)
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Designated contracting state (EPC)
DE FR GB
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 02000446 A 20020108