Global Patent Index - EP 1353352 A1

EP 1353352 A1 20031015 - High-frequency-type electron source, in particular neutralizer

Title (en)

High-frequency-type electron source, in particular neutralizer

Title (de)

Hochfrequenz-Elektronenquelle, insbesondere Neutralisator

Title (fr)

Source d'électrons haute fréquence, notamment neutralisateur

Publication

EP 1353352 A1 20031015 (DE)

Application

EP 03007602 A 20030402

Priority

DE 10215660 A 20020409

Abstract (en)

The high frequency electron source has a discharge chamber (11) with at least one gas inlet (14) for a gas to be ionized and at least one extraction opening (16) for electrons. The discharge chamber is at least partly enclosed by at least one electrode (12a) and a keeper electrode (12b) and a high frequency field is applied between the electrodes. The discharge chamber can be enclosed by a plasma chamber.

Abstract (de)

Die Erfindung umfasst eine Hochfrequenz-Elektronenquelle (10), insbesondere als Neutralisator einer lonenquelle, insbesondere eines lonenantriebs umfassend einen Entladungsraum (11) mit mindestens einem Gaseinlass (14) für ein zu ionisierendes Gas und mindestens einer Extraktionsöffnung (16) für Elektronen, wobei der Entladungsraum (11) von mindestens einer Elektrode (12a) und einer Keeper-Elektrode (12b) zumindest teilweise umgeben ist und dass zwischen den Elektroden (12a, 12b) ein elektrisches Hochfrequenzfeld anliegt. <IMAGE>

IPC 1-7

H01J 3/02

IPC 8 full level

F03H 1/00 (2006.01); H01J 3/02 (2006.01)

CPC (source: EP)

H01J 3/025 (2013.01)

Citation (applicant)

US 5003226 A 19910326 - MCGEOCH MALCOLM W [US]

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

DOCDB simple family (publication)

EP 1353352 A1 20031015; EP 1353352 B1 20100825; AT 479196 T 20100915; DE 10215660 A1 20031106; DE 10215660 B4 20080117; DE 50313006 D1 20101007; JP 2003301768 A 20031024; JP 4409846 B2 20100203; KR 100876052 B1 20081226; KR 20030081060 A 20031017; RU 2270491 C2 20060220; US 2003209961 A1 20031113; US 6870321 B2 20050322

DOCDB simple family (application)

EP 03007602 A 20030402; AT 03007602 T 20030402; DE 10215660 A 20020409; DE 50313006 T 20030402; JP 2003103276 A 20030407; KR 20030021789 A 20030408; RU 2003110016 A 20030408; US 41067403 A 20030409