EP 1441578 A2 20040728 - Device for generating a large stream of active gas based on a gas discharge plasma
Title (en)
Device for generating a large stream of active gas based on a gas discharge plasma
Title (de)
Vorrichtung zum Erzeugen eines breiten Aktivgasstrahls auf Basis eiens Gasentladungsplasmas
Title (fr)
Dispositif de production d'un jet étendu de gaz actif à partir d'un plasma à décharge de gaz
Publication
Application
Priority
DE 10303402 A 20030124
Abstract (en)
The arrangement has discharge chambers, each with a central electrode encased by an isolating tube and connected to a high voltage connection, a tangential inlet nozzle(s) for causing turbulence in the process gas outside the isolating tube and a coaxial outlet nozzle. The discharge chambers are adjacent to each other in series in a compact linear electrically conducting block. The gas discharge is concentrated towards the outlet nozzle. The arrangement has a number of discharge chambers (12), each with a central electrode (3) encased by an isolating tube and each connected to a high voltage connection, at least one tangential inlet nozzle for causing turbulence in the process gas outside the isolating tube and a coaxial outlet nozzle (13). The discharge chambers are arranged adjacent to each other in series in a compact linear block (1) of electrically conducting material. The gas discharge is concentrated towards the outlet nozzle by a narrow auxiliary gas channel (52). An isolator block (5) is arranged on the opposite side of the linear block from the outlet nozzle
Abstract (de)
Vorrichtung zum Erzeugen eines breiten Aktivgasstrahls auf Basis eines Gasentladungsplasmas mit einer Vielzahl von Gasentladungskammern, insbesondere zur Aktivierung und/oder Reinigung von Oberflächen verschiedenster Materialarten. Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Erzeugung eines breiten Aktivgasstrahles zu finden, die eine gleichzeitige und möglichst gleichmäßige Behandlung großer Oberflächenbereiche gestattet, ohne dass Lebensdauer und Leistungsfähigkeit des Aktivgasgenerators gegenüber einer herkömmlichen Einzelvorrichtung vermindert sind, wird erfindungsgemäß gelöst, indem Entladungskammern (12) nebeneinander aufgereiht in einem kompakten linearen Block (1) aus elektrisch leitendem Material eingebracht werden und mit derart kleinem Kammerdurchmesser (D) ausgeführt sind, dass die Aktivgasstrahlen (21) in Richtung des linearen Blockes (1) beim Auftreffen auf der Materialoberfläche (2) einander überschneidende Strahldurchmesser (E) aufweisen, die Zentralelektroden (3) jeweils einen so geringen Elektrodendurchmesser aufweisen, dass innerhalb des ummantelnden Isolatorröhrchens (4) ein schmaler Zusatzgaskanal (52) zur Verfügung steht, der die Gasentladung wesentlich stärker in Richtung der Ausgangsdüse (13) der Entladungskammer (12) konzentriert, und ein Isolatorblock (5) zur Zuleitung der Hochspannungsanschlüsse (31), eines Erdungsanschlusses (11) für den linearen Block (1) sowie zur Prozessgaszuführung (51) vorhanden ist.
IPC 1-7
IPC 8 full level
H05H 1/44 (2006.01)
CPC (source: EP)
H05H 1/44 (2013.01)
Designated contracting state (EPC)
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
DOCDB simple family (publication)
EP 1441578 A2 20040728; EP 1441578 A3 20101222; DE 10303402 A1 20040812
DOCDB simple family (application)
EP 04001326 A 20040122; DE 10303402 A 20030124