Global Patent Index - EP 1495304 A1

EP 1495304 A1 20050112 - SURFACE CLEANING AND PARTICLE COUNTING

Title (en)

SURFACE CLEANING AND PARTICLE COUNTING

Title (de)

OBERFLÄCHENREINIGEN UND PARTIKELZÄHLEN

Title (fr)

NETTOYAGE DE SURFACE ET COMPTAGE DES PARTICULES

Publication

EP 1495304 A1 20050112 (EN)

Application

EP 02731253 A 20020401

Priority

US 0210564 W 20020401

IPC 1-7

G01N 15/10; G01N 15/14

IPC 8 full level

G01N 15/02 (2006.01); G01N 1/02 (2006.01); G01N 15/10 (2006.01); G01N 15/14 (2006.01)

CPC (source: EP KR)

B08B 7/0028 (2013.01 - EP); G01N 15/10 (2013.01 - KR); G01N 15/14 (2013.01 - KR); G01N 21/88 (2013.01 - EP); G01N 21/94 (2013.01 - EP); G01N 2001/028 (2013.01 - EP); H01L 21/67288 (2013.01 - EP)

Designated contracting state (EPC)

AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

DOCDB simple family (publication)

AU 2002303238 A1 20031020; EP 1495304 A1 20050112; EP 1495304 A4 20091118; JP 2005521886 A 20050721; JP 4099454 B2 20080611; KR 100730013 B1 20070620; KR 20050009289 A 20050124

DOCDB simple family (application)

AU 2002303238 A 20020401; EP 02731253 A 20020401; JP 2003582524 A 20020401; KR 20047015649 A 20020401