Global Patent Index - EP 1522090 A2

EP 1522090 A2 20050413 - THERMAL PROCESSING SYSTEM AND CONFIGURABLE VERTICAL CHAMBER

Title (en)

THERMAL PROCESSING SYSTEM AND CONFIGURABLE VERTICAL CHAMBER

Title (de)

THERMISCHES VERARBEITUNGSSYSTEM UND KONFIGURIERBARE VERTIKALKAMMER

Title (fr)

SYSTEME DE TRAITEMENT THERMIQUE ET CHAMBRE VERTICALE CONFIGURABLE

Publication

EP 1522090 A2 20050413 (EN)

Application

EP 03764437 A 20030710

Priority

  • US 0321575 W 20030710
  • US 39653602 P 20020715
  • US 42852602 P 20021122

Abstract (en)

[origin: WO2004007318A2] A loadport apparatus for conditioning the interior of a FOUP having a FOUP door. The apparatus includes platform, a housing, an loadport door, a loadport door seal and a conditioning system. The FOUP platform receives the FOUP. The housing includes an opening to a second chamber. The housing is configured for sealably engaging the FOUP. The loadport door includes a FOUP door access mechanism for opening the FOUP. The loadport door is movable between an open position and a closed position. The loadport door seal selectively seals the opening from the second chamber when the loadport door is in the closed position. The conditioning system communications with the opening for conditioning a mini-environment chamber defined by the loadport door, the seal, the opening, and an interior of the FOUP when the loadport door is in the closed position, the loadport door seal is sealed, and the FOUP door is open. A method is also disclosed.

IPC 1-7

F27B 5/14; F27D 11/00; C23C 16/00; C23F 1/02; F26B 19/00; F26B 3/30

IPC 8 full level

F27B 5/14 (2006.01); H01L 21/22 (2006.01); C23C 16/00 (2006.01); C23C 16/44 (2006.01); C23C 16/455 (2006.01); C23C 16/46 (2006.01); C23C 16/54 (2006.01); C23F 1/02 (2006.01); F26B 3/30 (2006.01); F26B 19/00 (2006.01); F27B 5/18 (2006.01); F27D 11/00 (2006.01); F27D 11/02 (2006.01); H01L 21/00 (2006.01); H01L 21/02 (2006.01); H01L 21/205 (2006.01); H01L 21/324 (2006.01); H01L 21/677 (2006.01); H05B 3/00 (2006.01); H05B 3/06 (2006.01); H05B 3/66 (2006.01)

CPC (source: EP)

C23C 16/4401 (2013.01); C23C 16/4409 (2013.01); C23C 16/4412 (2013.01); C23C 16/45578 (2013.01); C23C 16/46 (2013.01); C23C 16/54 (2013.01); H01L 21/67017 (2013.01); H01L 21/67109 (2013.01); H01L 21/67772 (2013.01); H01L 21/67775 (2013.01)

Designated contracting state (EPC)

DE FR GB IT NL

DOCDB simple family (publication)

WO 2004007318 A2 20040122; WO 2004007318 A3 20040805; AU 2003249028 A1 20040202; AU 2003249029 A1 20040202; AU 2003249029 A8 20040202; AU 2003249030 A1 20040202; AU 2003249030 A8 20040202; AU 2003253873 A1 20040202; AU 2003253874 A1 20040202; AU 2003253874 A8 20040202; AU 2003253907 A1 20040202; AU 2003253907 A8 20040202; AU 2003256486 A1 20040202; AU 2003256486 A8 20040202; AU 2003256487 A1 20040202; AU 2003259104 A1 20040202; AU 2003259104 A8 20040202; CN 1643322 A 20050720; EP 1522090 A2 20050413; EP 1522090 A4 20060405; EP 1540258 A1 20050615; JP 2005533232 A 20051104; JP 2005533378 A 20051104; TW 200405401 A 20040401; TW 200406818 A 20040501; TW 200409176 A 20040601; TW 200411717 A 20040701; TW 200411960 A 20040701; TW 200416773 A 20040901; TW 200416774 A 20040901; TW 200416775 A 20040901; TW 200419890 A 20041001; WO 2004007105 A1 20040122; WO 2004007800 A1 20040122; WO 2004007800 A9 20050113; WO 2004008008 A2 20040122; WO 2004008008 A3 20041216; WO 2004008052 A2 20040122; WO 2004008052 A3 20040513; WO 2004008054 A1 20040122; WO 2004008054 A9 20050113; WO 2004008491 A2 20040122; WO 2004008491 A3 20040603; WO 2004008493 A2 20040122; WO 2004008493 A3 20040527; WO 2004008493 A9 20040722; WO 2004008494 A2 20040122; WO 2004008494 A3 20050421

DOCDB simple family (application)

US 0321973 W 20030715; AU 2003249028 A 20030710; AU 2003249029 A 20030710; AU 2003249030 A 20030710; AU 2003253873 A 20030710; AU 2003253874 A 20030710; AU 2003253907 A 20030715; AU 2003256486 A 20030710; AU 2003256487 A 20030710; AU 2003259104 A 20030710; CN 03806135 A 20030710; EP 03764437 A 20030710; EP 03764467 A 20030710; JP 2004521615 A 20030710; JP 2004521645 A 20030710; TW 92119294 A 20030715; TW 92119295 A 20030715; TW 92119296 A 20030715; TW 92119297 A 20030715; TW 92119298 A 20030715; TW 92119299 A 20030715; TW 92119300 A 20030715; TW 92119301 A 20030715; TW 92119303 A 20030715; US 0321575 W 20030710; US 0321641 W 20030710; US 0321642 W 20030710; US 0321644 W 20030710; US 0321645 W 20030710; US 0321646 W 20030710; US 0321647 W 20030710; US 0321648 W 20030710