Global Patent Index - EP 1549475 A4

EP 1549475 A4 20090401 - IMPRINT LITHOGRAPHY PROCESSES AND SYSTEMS

Title (en)

IMPRINT LITHOGRAPHY PROCESSES AND SYSTEMS

Title (de)

PRÄGEFORMLITHOGRAPHIEVERFAHREN UND -SYSTEME

Title (fr)

PROCEDES ET SYSTEMES DE LITHOGRAPHIE D'EMPREINTE

Publication

EP 1549475 A4 20090401 (EN)

Application

EP 03788242 A 20030710

Priority

  • US 0321556 W 20030710
  • US 19441402 A 20020711
  • US 19499102 A 20020711
  • US 19441102 A 20020711
  • US 19441002 A 20020711

Abstract (en)

[origin: WO2004016406A1] Processes of patterning substrates by imprint lithography using an apparatus (3900) including an imprint head (3100), an activating light source (3500), a motion stage (3600), a patterned template (3700), an imprint head support (3910), a motion stage support (3920), bridging supports (3930) and a support table (3940).

IPC 1-7

B29C 33/42; B29C 33/60; B29C 35/08; B29C 35/12; B29C 41/02; B29C 59/02; B29C 59/16

IPC 8 full level

B29C 35/08 (2006.01); B81C 1/00 (2006.01); G03F 7/00 (2006.01); H01L 21/027 (2006.01); B29L 31/34 (2006.01)

CPC (source: EP KR)

A61P 31/04 (2017.12 - EP); B29C 33/42 (2013.01 - KR); B29C 33/60 (2013.01 - KR); B29C 35/08 (2013.01 - KR); B29C 59/16 (2013.01 - KR); B81C 1/0046 (2013.01 - EP); B82Y 10/00 (2013.01 - EP); B82Y 40/00 (2013.01 - EP); G03F 7/0002 (2013.01 - EP)

Citation (search report)

Citation (examination)

WO 0206902 A2 20020124 - UNIV TEXAS [US]

Designated contracting state (EPC)

AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

DOCDB simple family (publication)

WO 2004016406 A1 20040226; AU 2003253862 A1 20040303; CN 101710228 A 20100519; CN 101710228 B 20120815; CN 1668437 A 20050914; EP 1549475 A1 20050706; EP 1549475 A4 20090401; EP 2388119 A1 20111123; EP 2388119 B1 20160907; JP 2005533393 A 20051104; JP 2010123985 A 20100603; KR 100963510 B1 20100615; KR 20050024324 A 20050310; MY 144124 A 20110815; MY 164487 A 20171229; TW 200405138 A 20040401; TW 200407682 A 20040516; TW 200408902 A 20040601; TW 200426496 A 20041201; TW 200604730 A 20060201; TW I289731 B 20071111; TW I295227 B 20080401; TW I319509 B 20100111; TW I326797 B 20100701

DOCDB simple family (application)

US 0321556 W 20030710; AU 2003253862 A 20030710; CN 03816412 A 20030710; CN 200910211811 A 20030710; EP 03788242 A 20030710; EP 11176056 A 20030710; JP 2004529089 A 20030710; JP 2010004138 A 20100112; KR 20047020101 A 20030710; MY PI20032540 A 20030707; MY PI20032541 A 20030707; TW 92118862 A 20030710; TW 92118873 A 20030710; TW 92118881 A 20030710; TW 92118883 A 20030710; TW 94132622 A 20030710