EP 1760760 A2 20070307 - x-ray or XUV generation unit
Title (en)
x-ray or XUV generation unit
Title (de)
Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung
Title (fr)
Source de rayons X ou de XUV
Publication
Application
Priority
DE 102005041923 A 20050903
Abstract (en)
A particle source (10) directs a particle jet (12) of electrically charged particles towards a target (16). A deflecting system (26) diverts the central axis of the particle jet to a deflection point (20). Another deflecting system (32) diverts the central axis of the particle jet to another deflection point (22). The deflecting systems are arranged such that the deflection points are provided before the point of impact (24) on the target.
Abstract (de)
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung 2 zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung weist Mittel zum Richten eines Teilchenstrahles 12 elektrisch geladener Teilchen auf ein Target 16 auf. Erfindungsgemäß sind Ablenkmittel zum Ablenken des Teilchenstrahles 12 derart, daß die Zentralachse 18 des Teilchenstrahles 12 durch einen ersten Ablenkpunkt 20 und einen zu dem ersten Ablenkpunkt 20 in Strahlrichtung beabstandeten zweiten Ablenkpunkt 22 verläuft, wobei der erste und der zweite Ablenkpunkt 20, 22 in Achse mit einem vorgebenen oder vorgebbaren Auftreffpunkt 24 des Teilchenstrahles 12 auf dem Target 16 liegen und wobei der Teilchenstrahl durch die Ablenkmittel in Strahlrichtung im Bereich eines Ablenkpunktes 20, 22 unabhängig von einer Ablenkung des Teilchenstrahles 12 im Bereich des anderen Ablenkpunktes 22, 20 ablenkbar ist.
IPC 8 full level
H01J 35/14 (2006.01)
CPC (source: EP KR US)
G21K 1/08 (2013.01 - KR); G21K 1/087 (2013.01 - KR); H01J 35/02 (2013.01 - EP US); H01J 35/147 (2019.04 - EP US); H01J 35/153 (2019.04 - EP US); H01J 35/30 (2013.01 - EP US)
Designated contracting state (EPC)
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Designated extension state (EPC)
AL BA HR MK YU
DOCDB simple family (publication)
EP 1760760 A2 20070307; EP 1760760 A3 20080709; AU 2006203782 A1 20070322; CA 2558216 A1 20070303; CN 1959924 A 20070509; DE 102005041923 A1 20070308; IL 177803 A0 20061231; JP 2007073517 A 20070322; KR 20070026024 A 20070308; RU 2006131616 A 20080310; TW 200715337 A 20070416; US 2007051907 A1 20070308
DOCDB simple family (application)
EP 06016388 A 20060805; AU 2006203782 A 20060830; CA 2558216 A 20060830; CN 200610129176 A 20060904; DE 102005041923 A 20050903; IL 17780306 A 20060831; JP 2006239476 A 20060904; KR 20060079227 A 20060822; RU 2006131616 A 20060901; TW 95132577 A 20060904; US 51538206 A 20060905