EP 2006902 A2 20081224 - Method of producing an electric connection based on individually sheathed nanotubes
Title (en)
Method of producing an electric connection based on individually sheathed nanotubes
Title (de)
Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Anschlusses auf der Basis von einzeln ummantelten Nanoröhrchen
Title (fr)
Procédé de réalisation d'une connexion électrique à base de nanotubes gainés individuellement
Publication
Application
Priority
FR 0704463 A 20070622
Abstract (en)
The method involves aligning nanotubes (10) substantially perpendicular to metallic levels by an electromagnetic alignment field between growing the nanotubes and depositing a metallic material (4). A sheathing material (11) is deposited partially covering the nanotubes. An individual sheathing of the nanotubes is performed. The electromagnetic alignment field of the nanotubes is maintained during deposition of the sheathing material that is made from iron, chromium, titanium, copper, platinum, tungsten, cobalt, and molybdenum.
Abstract (fr)
Une connexion électrique, comportant des nanotubes (10), est réalisée entre deux couches en matériau métallique séparées par une couche (5) en matériau isolant. Après la croissance des nanotubes (10), leur alignement sensiblement perpendiculairement aux niveaux métalliques est effectué au moyen d'un champ électromagnétique d'alignement (E). Puis, un matériau de gainage (11) est déposé, recouvrant au moins partiellement les nanotubes (10) et assurant au moins le gainage individuel des nanotubes (10). Le champ électromagnétique d'alignement des nanotubes (10) est maintenu durant le dépôt du matériau de gainage.
IPC 8 full level
H01L 21/768 (2006.01); H01L 23/532 (2006.01)
CPC (source: EP US)
H01L 21/76879 (2013.01 - EP US); H01L 23/53276 (2013.01 - EP US); H01L 2221/1094 (2013.01 - EP US); H01L 2924/0002 (2013.01 - EP US)
Citation (applicant)
- US 7135773 B2 20061114 - FURUKAWA TOSHIHARU [US], et al
- US 6837928 B1 20050104 - ZHANG YUEGANG [US], et al
- WO 03087707 A2 20031023 - SI DIAMOND TECHN INC [US]
- US 2005208304 A1 20050922 - COLLIER CHARLES P [US], et al
- NIHEI ET AL.: "Electrical Properties of Carbon nanotube Bundles for Future Via Interconnects", JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. 44, no. 4, 2005, pages 1626 - 1628, XP001245789, DOI: doi:10.1143/JJAP.44.1626
Designated contracting state (EPC)
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Designated extension state (EPC)
AL BA MK RS
DOCDB simple family (publication)
EP 2006902 A2 20081224; FR 2917892 A1 20081226; FR 2917892 B1 20090828; US 2008317970 A1 20081225
DOCDB simple family (application)
EP 08354041 A 20080617; FR 0704463 A 20070622; US 21327608 A 20080617