EP 2020672 A2 20090204 - High frequency generator for ion and electron sources
Title (en)
High frequency generator for ion and electron sources
Title (de)
Hochfrequenzgenerator für Ionen- und Elektronenquellen
Title (fr)
Générateur haute fréquence pour sources d'ions et d'électrons
Publication
Application
Priority
DE 102007036592 A 20070802
Abstract (en)
The device has a coupling coil (5) that supplies high frequency energy for performing plasma excitation. A coupling capacitor (22) is electrically coupled with the coil. A high frequency generator (16) i.e. radio frequency generator, is electrically coupled with the coil. The generator with the capacitor forms a resonant circuit e.g. series resonant circuit. The generator has a phase locked loop control device that automatically performs impedance matching of the circuit, so that the circuit is operated by using resonance frequency.
Abstract (de)
Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Einkopplung von lonisationsenergie in eine induktiv oder induktiv-kapazitiv angeregte lonen- oder Elektronenquelle. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst folgende Merkmale: ein Entladungsgefäß (4) für ein zu ionisierendes Gas; eine um das Entladungsgefäß (4) gewickelte Koppelspule (5) zur Einspeisung einer zur Plasma-Anregung notwendigen Hochfrequenz-Energie; einen mit der Koppelspule (5) elektrisch gekoppelten Koppelkondensator (22); einen mit der Koppelspule elektrisch gekoppelten Hochfrequenzgenerator (16). Der Hochfrequenzgenerator (16) bildet zusammen mit dem zumindest einen Koppelkondensator (22) einen Resonanzkreis aus. Ferner weist der Hochfrequenzgenerator (16) eine PLL-Regelungsvorrichtung (34) zur automatischen Impedanzanpassung des Resonanzkreises auf, so dass der Resonanzkreis mit einer Resonanzfrequenz betreibbar ist.
IPC 8 full level
F03H 1/00 (2006.01); H01J 27/16 (2006.01)
CPC (source: EP US)
F03H 1/0018 (2013.01 - EP US); H01J 27/16 (2013.01 - EP US)
Citation (applicant)
DE 19948229 C1 20010503 - DAIMLER CHRYSLER AG [DE]
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT
Designated extension state (EPC)
AL BA MK RS
DOCDB simple family (publication)
EP 2020672 A2 20090204; EP 2020672 A3 20101110; EP 2020672 B1 20200506; DE 102007036592 A1 20090219; DE 102007036592 B4 20140710; RU 2008131500 A 20100210; RU 2461908 C2 20120920; US 2009058303 A1 20090305; US 8294370 B2 20121023
DOCDB simple family (application)
EP 08013495 A 20080726; DE 102007036592 A 20070802; RU 2008131500 A 20080731; US 18264508 A 20080730