EP 2063240 A1 20090527 - Electromagnetic radiation detector with nanowire thermometer and manufacturing method
Title (en)
Electromagnetic radiation detector with nanowire thermometer and manufacturing method
Title (de)
Detektor mit Nanofadenthermometer für elektromagnetische Strahlung und Umsetzungsverfahren
Title (fr)
Détecteur de rayonnement électromagnétique à thermomètre à nanofil et procédé de réalisation
Publication
Application
Priority
FR 0707919 A 20071112
Abstract (en)
The detector has a thermometer formed by a thermoelement in contact with an absorption membrane (1) and a substrate (2). The thermoelement has nanowires embedded by polymer resin, where the nanowires have small diameter and large height. Each nanowire has a core (8) and an external layer (9) electrically insulated from one another at periphery of the core and the layer by an electrical insulation layer (10). The core and the layer are electrically connected to an end of the nanowire. The end is in thermal contact with the membrane. A mirror layer is deposited on the substrate and the nanowire. An independent claim is also included for a method for producing a detector.
Abstract (fr)
Le détecteur de rayonnement électromagnétique comporte au moins une membrane (1) suspendue au-dessus d'un substrat (2) par au moins un nanofil. Le nanofil forme un thermoélément comportant une âme (8) et une couche extérieure (9) électriquement conductrices, respectivement dopé de type différent, et isolées l'une de l'autre par une couche d'isolation électrique (10). Lorsque le substrat (2) et la membrane (1) sont à des températures différentes, le nanofil constitue un thermomètre, fournissant par effet Seebeck, des signaux de mesure représentatif de l'échauffement de la membrane.
IPC 8 full level
CPC (source: EP US)
G01J 5/02 (2013.01 - EP US); G01J 5/023 (2013.01 - EP US); G01J 5/20 (2013.01 - EP US)
Citation (applicant)
- EP 1653205 A1 20060503 - COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR]
- US 82629307 A 20070713
- US 6996147 B2 20060207 - MAJUMDAR ARUN [US], et al
- "Fabrication and characterization of a nanowire/Polymer-Based Nanocomposite for a Prototype Thermoelectric Device", JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, vol. 13, no. 3, June 2004 (2004-06-01), pages 505 - 513
Citation (search report)
- [DA] EP 1653205 A1 20060503 - COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR]
- [A] US 2006266402 A1 20061130 - ZHANG AN-PING [US], et al
- [A] US 2006185710 A1 20060824 - YANG JIHUI [CA], et al
Designated contracting state (EPC)
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Designated extension state (EPC)
AL BA MK RS
DOCDB simple family (publication)
EP 2063240 A1 20090527; EP 2063240 B1 20110831; AT E522795 T1 20110915; FR 2923602 A1 20090515; FR 2923602 B1 20091120; US 2009121136 A1 20090514; US 8067736 B2 20111129
DOCDB simple family (application)
EP 08354080 A 20081028; AT 08354080 T 20081028; FR 0707919 A 20071112; US 28959808 A 20081030