EP 2263981 A2 20101222 - Method for producing a component of consisting of quartz glass
Title (en)
Method for producing a component of consisting of quartz glass
Title (de)
Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasbauteils
Title (fr)
Procédé de fabrication d'un composant en verre à quartz
Publication
Application
Priority
- EP 05781997 A 20050823
- DE 102004040833 A 20040823
- DE 102004052312 A 20041028
Abstract (en)
In a process to produce a quartz glass component for use in semiconductor manufacture, a quartz glass substrate is coated with slip containing amorphous SiO 2 particles and glazed prior to application of an SiO 2 glass mass with properties different from those of the substrate. The SiO 2 particles are in the range up to 500 mu m, most particles being in the range 1 mu m to 50 mu m and are produced by grinding action. The slurry is glazed by laser heating at a temperature range between 1100[deg]C and 1400[deg]C under hydrogen gas, followed by flame-drying.
Abstract (de)
Es sind Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus Quarzglas bekannt, bei denen ein Schlicker aus SiO 2 -Teilchen und einer Flüssigkeit erzeugt, daraus durch Formgießen und Trocknen ein poröser Grünkörper gebildet und dieser durch Sintern vollständig oder teilweise verdichtet wird. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, für die Herstellung eines Quarzglas-Bauteils anzugeben, das eine transparente SiO 2 -Schicht mit besonders großer Dicke aufweist, die im Extremfall die gesamte Wandstärke des Quarzglas-Bauteils umfasst, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiO 2 -Teilchen amorph sind, durch Nassmahlen von SiO 2 -Ausgangskörnung in der Flüssigkeit hergestellt werden, und beim Formgießen Teilchengrößen im Bereich bis maximal 500 µm aufweisen, wobei SiO 2 -Teilchen mit Teilchengrößen im Bereich zwischen 1 µm und 50 µm den größten Volumenanteil ausmachen, und dass der Grünkörper durch Erhitzen in einer Wasserstoff enthaltenden Atmosphäre verdichtet wird.
IPC 8 full level
C03C 17/02 (2006.01); C03B 19/02 (2006.01); C03B 19/06 (2006.01); C03B 20/00 (2006.01); C03C 17/25 (2006.01)
CPC (source: EP US)
C03B 19/066 (2013.01 - EP US); C03C 17/02 (2013.01 - EP US); C03C 17/25 (2013.01 - EP US); C03C 2217/213 (2013.01 - EP US); Y10T 428/26 (2015.01 - EP US)
Citation (applicant)
- DE 69806628 T2 20030206 - SAINT GOBAIN QUARTZ PLC WALLSE [GB]
- DE 4440104 C2 19960425 - HERAEUS QUARZGLAS [DE]
Designated contracting state (EPC)
DE FR GB IT NL
Designated extension state (EPC)
AL BA HR MK YU
DOCDB simple family (publication)
DE 102004052312 A1 20060302; EP 1789370 A2 20070530; EP 1789370 B1 20140115; EP 2263981 A2 20101222; EP 2263981 A3 20130904; EP 2263981 B1 20141001; JP 2008510676 A 20080410; US 2008075949 A1 20080327; WO 2006021415 A2 20060302; WO 2006021415 A3 20061026
DOCDB simple family (application)
DE 102004052312 A 20041028; EP 05781997 A 20050823; EP 10182969 A 20050823; EP 2005009073 W 20050823; JP 2007528725 A 20050823; US 66116005 A 20050823