EP 2385257 A2 20111109 - Vacuum pump stage
Title (en)
Vacuum pump stage
Title (de)
Vakuumpumpstufe
Title (fr)
Etage de pompe à vide
Publication
Application
Priority
DE 102010019940 A 20100508
Abstract (en)
The vacuum pump riser (100) has an inlet (104), an outlet (106), a rotor (112) and a channel (108). A rotor section is provided with design elements (114,116), by which the pumping action is operated in molecular flow range according to Gaede principle and within a higher pressure range according to a side channel principle. An independent claim is also included for a vacuum pump, which has a high vacuum side pump riser and an atmospheric side pump riser.
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpstufe (100; 610) mit einem Einlass (104; 604), einem Auslass (106; 606), einem Rotor (112; 212; 312) und einem Kanal (108; 208; 308), wobei der Rotor mit einem Rotorabschnitt in den Kanal eintaucht und durch Zusammenwirken von Rotorabschnitt und Kanal eine Pumpwirkung erreicht wird, und mit einem zwischen Einlass und Auslass angeordneten Abstreifer (110). Um eine Vakuumpumpstufe bereitzustellen, die sowohl im viskosen als auch im molekularen Strömungsbereich Kompression und Saugvermögen besitzt, wird vorgeschlagen, dass der Rotorabschnitt Gestaltungselemente (114, 116; 214; 314, 340) aufweist, durch die die Pumpwirkung im molekularen Strömungsbereich nach Gaede und im höheren Druckbereich nach dem Seitenkanalprinzip bewirkt wird.
IPC 8 full level
F04D 17/16 (2006.01); F04D 19/04 (2006.01); F04D 23/00 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 17/168 (2013.01); F04D 19/04 (2013.01); F04D 19/046 (2013.01); F04D 23/008 (2013.01)
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
EP 2385257 A2 20111109; EP 2385257 A3 20140903; EP 2385257 B1 20171018; DE 102010019940 A1 20111110; DE 102010019940 B4 20210923; JP 2011236900 A 20111124; JP 6302615 B2 20180328
DOCDB simple family (application)
EP 11002911 A 20110407; DE 102010019940 A 20100508; JP 2011095953 A 20110422