Global Patent Index - EP 2816411 A1

EP 2816411 A1 20141224 - Immersion exposure method and apparatus, and method for producing a device

Title (en)

Immersion exposure method and apparatus, and method for producing a device

Title (de)

Immersionsbelichtungsverfahren und -vorrichtung, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

Title (fr)

Procédé et appareil d'exposition par immersion, et méthode de fabrication d'un dispositif

Publication

EP 2816411 A1 20141224 (EN)

Application

EP 14179111 A 20040524

Priority

  • JP 2003146424 A 20030523
  • EP 04734603 A 20040524

Abstract (en)

When exposing a substrate (P) by projecting a pattern image onto the substrate via a projection optical system (PL) and liquid (1), an exposure method includes a determination of a liquid immersion condition to be performed to the substrate, such as a liquid type, depending on a film (SP) formed as a liquid contact surface of the substrate. The liquid type is selected by switching between a first liquid supply section (11) and a third liquid supply section (21). It is possible to smoothly perform immersion exposure for the substrate (P) on which a different photo-resist layer is provided.

IPC 8 full level

G03F 7/20 (2006.01)

CPC (source: EP KR US)

G03B 27/42 (2013.01 - US); G03F 7/2041 (2013.01 - KR US); G03F 7/2053 (2013.01 - KR); G03F 7/70258 (2013.01 - KR); G03F 7/70325 (2013.01 - US); G03F 7/70341 (2013.01 - EP KR US); G03F 7/70725 (2013.01 - US); G03F 7/70775 (2013.01 - US); G03F 7/70833 (2013.01 - KR); G03F 7/70866 (2013.01 - KR); H01L 21/0273 (2013.01 - KR); H01L 21/0274 (2013.01 - KR)

Citation (applicant)

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

DOCDB simple family (publication)

EP 1632991 A1 20060308; EP 1632991 A4 20080130; EP 1632991 B1 20180516; EP 2816411 A1 20141224; EP 2816411 B1 20160427; EP 2818929 A1 20141231; EP 3048487 A1 20160727; EP 3048487 B1 20170329; EP 3279740 A1 20180207; EP 3364250 A1 20180822; HK 1204092 A1 20151106; HK 1205282 A1 20151211; HK 1224385 A1 20170818; HK 1245902 A1 20180831; HK 1253949 A1 20190705; JP 2010183110 A 20100819; JP 2010187019 A 20100826; JP 2013021355 A 20130131; JP 2013153214 A 20130808; JP 2014078728 A 20140501; JP 2014199947 A 20141023; JP 2015097285 A 20150521; JP 2015163996 A 20150910; JP 2016085470 A 20160519; JP 2017037345 A 20170216; JP 5353810 B2 20131127; JP 5353811 B2 20131127; JP 5454645 B2 20140326; JP 5516791 B2 20140611; JP 5751316 B2 20150722; JP 5787008 B2 20150930; JP 5831652 B2 20151209; JP 6008056 B2 20161019; JP 6065943 B2 20170125; JP 6195005 B2 20170913; KR 101102286 B1 20120103; KR 101311564 B1 20130926; KR 101376017 B1 20140319; KR 101411799 B1 20140624; KR 101464098 B1 20141121; KR 101472249 B1 20141211; KR 101498439 B1 20150305; KR 101544655 B1 20150817; KR 101619724 B1 20160510; KR 101711352 B1 20170228; KR 101864557 B1 20180604; KR 20060009949 A 20060201; KR 20110101216 A 20110915; KR 20120049953 A 20120517; KR 20130042028 A 20130425; KR 20130086256 A 20130731; KR 20130133086 A 20131205; KR 20130138856 A 20131219; KR 20140099922 A 20140813; KR 20150054010 A 20150519; KR 20160009710 A 20160126; KR 20170021924 A 20170228; KR 20180058855 A 20180601; TW 200501229 A 20050101; TW 201203318 A 20120116; TW 201346988 A 20131116; TW 201346989 A 20131116; TW 201403670 A 20140116; TW 201415536 A 20140416; TW 201515064 A 20150416; TW 201530616 A 20150801; TW 201530617 A 20150801; TW I421906 B 20140101; TW I421911 B 20140101; TW I463533 B 20141201; TW I470671 B 20150121; TW I511181 B 20151201; TW I612557 B 20180121; TW I614794 B 20180211; US 2006098177 A1 20060511; US 2007121089 A1 20070531; US 2008297746 A1 20081204; US 2009009745 A1 20090108; US 2013250258 A1 20130926; US 2013250259 A1 20130926; US 2016238949 A1 20160818; US 2016246181 A1 20160825; US 2018173107 A1 20180621; US 7399979 B2 20080715; US 7495744 B2 20090224; US 8472001 B2 20130625; US 8488108 B2 20130716; US 9285684 B2 20160315; US 9354525 B2 20160531; US 9933708 B2 20180403; US 9977336 B2 20180522; WO 2004105106 A1 20041202

DOCDB simple family (application)

EP 04734603 A 20040524; EP 14179111 A 20040524; EP 14179112 A 20040524; EP 16158672 A 20040524; EP 17189837 A 20040524; EP 18163314 A 20040524; HK 15104725 A 20150518; HK 15105699 A 20150616; HK 16112559 A 20161101; HK 18105273 A 20180423; HK 18113100 A 20181012; JP 2004007415 W 20040524; JP 2010108698 A 20100510; JP 2010108738 A 20100510; JP 2012210090 A 20120924; JP 2013083820 A 20130412; JP 2013242938 A 20131125; JP 2014132785 A 20140627; JP 2015007528 A 20150119; JP 2015120109 A 20150615; JP 2016003686 A 20160112; JP 2016217693 A 20161108; KR 20057022145 A 20040524; KR 20117016819 A 20040524; KR 20127010587 A 20040524; KR 20137006891 A 20040524; KR 20137016409 A 20040524; KR 20137030195 A 20040524; KR 20137031353 A 20040524; KR 20147017521 A 20040524; KR 20157011154 A 20040524; KR 20167000800 A 20040524; KR 20177004805 A 20040524; KR 20187014459 A 20040524; TW 100126336 A 20040521; TW 102126874 A 20040521; TW 102126875 A 20040521; TW 102136490 A 20040521; TW 102142613 A 20040521; TW 103146232 A 20040521; TW 104112367 A 20040521; TW 104112370 A 20040521; TW 93114402 A 20040521; US 201313897989 A 20130520; US 201313898011 A 20130520; US 201615141465 A 20160428; US 201615141528 A 20160428; US 201815897271 A 20180215; US 22202808 A 20080731; US 22202908 A 20080731; US 28372405 A 20051122; US 69818607 A 20070126