EP 2875874 A1 20150527 - Low and medium pressure plasma method for surface coating by supplying precursor without carrier gas
Title (en)
Low and medium pressure plasma method for surface coating by supplying precursor without carrier gas
Title (de)
Nieder- und Mitteldruckplasmaverfahren zur Oberflächenbeschichtung mittels Percursorzuführung ohne Trägergas
Title (fr)
Procédé à plasma à basse et moyenne pression pour le revêtement de surface à l'aide d'une alimentation en précurseur sans gaz porteur
Publication
Application
Priority
- DE 102013222199 A 20131031
- DE 102014214493 A 20140724
Abstract (de)
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung mindestens einer Oberfläche eines zwei- oder dreidimensionalen Körpers, einer Vorrichtung zum Beschichten mindestens einer Oberfläche eines zwei- oder dreidimensionalen Körpers, die beschichtete Oberfläche an sich sowie die Verwendung eines trägergasfreien Einbringens eines flüssigen, mindestens eine Vorläuferverbindung enthaltenden Mediums in eine Beschichtungskammer.
IPC 8 full level
CPC (source: EP)
B05D 1/62 (2013.01); B05D 3/142 (2013.01); B05D 2506/10 (2013.01); B05D 2518/10 (2013.01)
Citation (applicant)
- DE 69429354 T2 20020523 - PARKER HANNIFIN CORP [US]
- ZOTOV ET AL., JOURNAL OF MEMBRANE SCIENCE, vol. 442, 2013, pages 119 - 123
- LEIVO ET AL., PROGRESS IN ORGANIC COATINGS, vol. 49, 2004, pages 69 - 73
Citation (search report)
- [XI] EP 2051311 A1 20090422 - APPLIED MATERIALS INC [US]
- [AD] EP 0720514 B1 20011205 - PARKER HANNIFIN CORP [US]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 14191221 A 20141031