EP 2918843 A1 20150916 - VACUUM PUMP DAMPER
Title (en)
VACUUM PUMP DAMPER
Title (de)
VAKUUMPUMPEN-DÄMPFER
Title (fr)
AMORTISSEUR POUR POMPES À VIDE
Publication
Application
Priority
DE 102014103510 A 20140314
Abstract (en)
[origin: JP2015175372A] PROBLEM TO BE SOLVED: To separate, in particular, vibration between a vacuum pump and a receiver, and also electrically separate vibration and obtain vacuum air-tightness connection by a simple and inexpensive method.SOLUTION: In a vacuum pump damper for vacuum air-tightly connecting a vacuum pump 10 and a receiver 12, a first flange 20 is connected to the vacuum pump 10 and a second flange 22 is connected to the receiver 12. At least one separation apparatus 26 is directly arranged between flange faces 24, 24' of the first and second flanges 20, 22 faced to each other. The first and second flanges 20, 22 are connected to each other by at least one fixing element 28, in particular a screw. A pre-load is applied so that both of the flanges 20, 22 are mechanically and/or electrically separated from each other in an operating state that the fixing element 28 and the flanges 20, 22 are vacuumed, and so that the separation apparatus 26 is vacuum air-tight in an assembled state that the flanges are not vacuumed.
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft einen Vakuumpumpen-Dämpfer zur vakuumdichten Verbindung einer Vakuumpumpe mit einem Rezipienten, mit einem ersten und einem zweiten Flansch, wobei der erste Flansch mit der Vakuumpumpe und der zweite Flansch mit dem Rezipienten verbunden oder verbindbar ist, zumindest einem Entkopplungsorgan, das unmittelbar zwischen einander zugewandten Flanschseiten des ersten und des zweiten Flansches angeordnet ist, und zumindest einem Befestigungselement, insbesondere einer Schraube, mit dem der erste und der zweite Flansch miteinander verbunden oder verbindbar sind, wobei das Befestigungselement und die Flansche dazu ausgebildet sind, in einem nicht evakuierten Montagezustand das Entkopplungsorgan derart vakuumdicht vorzuspannen, dass in einem evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche mechanisch und/oder elektrisch voneinander entkoppelt sind.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/08 (2006.01); F04D 29/60 (2006.01); F04D 29/66 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/04 (2013.01); F04D 29/083 (2013.01); F04D 29/601 (2013.01); F04D 29/668 (2013.01)
Citation (applicant)
- DE 102004044775 A1 20060406 - LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE]
- EP 1270949 A1 20030102 - BOC TECHNOLOGIES LTD [JP]
Citation (search report)
- [XI] EP 1837521 A1 20070926 - BOC EDWARDS JAPAN LTD [JP]
- [X] WO 2005095798 A1 20051013 - LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE], et al
- [X] EP 2410184 A1 20120125 - AGILENT TECHNOLOGIES INC [US]
- [X] EP 2290242 A2 20110302 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [A] US 5516122 A 19960514 - CAFFEE BARRY K [US]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
EP 2918843 A1 20150916; EP 2918843 B1 20201028; DE 102014103510 A1 20150917; DE 102014103510 B4 20160225; JP 2015175372 A 20151005; JP 6133919 B2 20170524
DOCDB simple family (application)
EP 15157292 A 20150303; DE 102014103510 A 20140314; JP 2015050530 A 20150313